论文目录 | |
| 摘要 | 第1-5
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| Abstract | 第5-13
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| 第1章 绪论 | 第13-35
页 |
| · 引言 | 第13-14
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| · 基于X 射线衍射技术的织构表征方法的研究现状 | 第14-16
页 |
| · 择优取向参数法 | 第14-15
页 |
| · 极图法 | 第15
页 |
| · 反极图法 | 第15
页 |
| · 三维取向分布函数(ODF)法 | 第15-16
页 |
| · 回摆扫描法 | 第16
页 |
| · 基于X 射线衍射技术的残余应力表征的研究现状 | 第16-25
页 |
| · X 射线衍射几何的研究现状 | 第17-19
页 |
| · 晶粒间相互作用模型的研究现状 | 第19-25
页 |
| · 取向和残余应力对PZT 薄膜物理性能影响的研究现状 | 第25-34
页 |
| · 准同型相界附近PZT 相变行为及铁电性的实验研究现状 | 第26-31
页 |
| · 准同型相界附近PZT 相变及物理性能的热力学研究现状 | 第31-34
页 |
| · 本论文主要研究内容 | 第34-35
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| 第2章 试验材料及研究方法 | 第35-39
页 |
| · 试验材料及薄膜沉积设备 | 第35-36
页 |
| · 基底材料 | 第35
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| · 薄膜沉积设备 | 第35-36
页 |
| · 薄膜材料的制备及工艺参数 | 第36-37
页 |
| · Pt 薄膜的制备及工艺参数 | 第36-37
页 |
| · 溶胶凝胶法制备PZT 薄膜及工艺参数 | 第37
页 |
| · 研究方法 | 第37-39
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| · X 射线衍射分析 | 第37
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| · 显微组织扫描电子显微镜观察 | 第37-38
页 |
| · 铁电性能测量 | 第38-39
页 |
| 第3章 丝织构的简便定性及定量表征 | 第39-53
页 |
| · 引言 | 第39
页 |
| · 丝织构的择优取向与任一晶面的法线之间的关系 | 第39-41
页 |
| · X 射线衍射ω扫描模式 | 第41-42
页 |
| · X 射线衍射ω扫描得到的衍射强度的物理意义 | 第42-43
页 |
| · 基于X 射线衍射ω扫描模式的丝织构表征方法 | 第43-47
页 |
| · 定性表征方法 | 第43-46
页 |
| · 定量表征方法 | 第46-47
页 |
| · ω扫描方法表征丝织构的实验验证 | 第47-52
页 |
| · 本章小结 | 第52-53
页 |
| 第4章 局域晶粒间相互作用模型与具有丝织构的薄膜中应力表征 | 第53-66
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| · 引言 | 第53-54
页 |
| · 局域晶粒间相互作用模型的建立 | 第54-59
页 |
| · 局域Voigt 模型 | 第55-56
页 |
| · 局域Reuss 模型 | 第56-58
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| · 关于局域Voigt 模型和Reuss 模型的讨论 | 第58-59
页 |
| · 局域模型表征具有丝织构的薄膜中残余应力的实验验证 | 第59-64
页 |
| · 晶面311、222 和331 的取向概率分布函数 | 第60-62
页 |
| · 基于局域模型的Pt 薄膜中残余应力表征及结果讨论 | 第62-64
页 |
| · 本章小结 | 第64-66
页 |
| 第5章 丝织构和残余应力对钙钛矿型铁电功能薄膜体系性能影响 | 第66-90
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| · 引言 | 第66-67
页 |
| · 坐标系及坐标转换矩阵 | 第67-68
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| · 织构和残余应力对多晶 2-2 型 BaTiO_3/CoFe_2O_4 多铁复合功能薄膜磁电耦合性能的影响 | 第68-81
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| · 具有丝织构的铁磁相中的磁致伸缩应变 | 第69-71
页 |
| · 具有丝织构的铁电相中的应力状态 | 第71-72
页 |
| · 具有丝织构的铁电相中的吉布斯自由能和极化强度 | 第72-73
页 |
| · 数值模拟及结果讨论 | 第73-81
页 |
| · 织构和残余应力对多晶PbTiO_3 铁电薄膜相变行为的影响 | 第81-88
页 |
| · 具有丝织构的PbTiO_3 薄膜中的吉布斯自由能和相变温度变化 | 第82-84
页 |
| · 数值模拟与结果讨论 | 第84-88
页 |
| · 本章小结 | 第88-90
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| 第6章 PZT 52/48 铁电薄膜的物相组成及其铁电性能的研究 | 第90-108
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| · 引言 | 第90
页 |
| · PZT 52/48 薄膜的形貌组织及择优取向 | 第90-93
页 |
| · PZT 52/48 薄膜的形貌组织 | 第90-92
页 |
| · PZT 52/48 薄膜的择优取向 | 第92-93
页 |
| · (001)取向PZT 52/48 薄膜中的物相组成研究 | 第93-101
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| · (001)取向PZT 52/48 薄膜中的物相组成的确定 | 第93-97
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| · (001)取向PZT 52/48 薄膜相变弥散起因的定性讨论 | 第97-101
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| · (001)取向PZT 52/48 薄膜极化性能研究 | 第101-103
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| · (001)取向PZT 52/48 薄膜热释电性能研究 | 第103-107
页 |
| · 本章小结 | 第107-108
页 |
| 结论 | 第108-110
页 |
| 参考文献 | 第110-121
页 |
| 攻读学位期间发表的学术论文 | 第121-123
页 |
| 致谢 | 第123-124
页 |
| 个人简历 | 第124页 |
