BST类铁电薄膜生长机理与应力调制研究



BST类铁电薄膜生长机理与应力调制研究

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BST类铁电薄膜生长机理与应力调制研究

论文目录
摘要	第1-7 页
ABSTRACT	第7-10 页
目录	第10-12 页
第一章绪论	第12-24 页
· 铁电材料与铁电薄膜	第12-16 页
· BST类薄膜的生长机理与方法	第16-19 页
· 存在的主要科学技术问题	第19-22 页
· 本论文工作的研究思路和框架结构	第22-24 页
第二章实验过程与方法	第24-36 页
· 激光分子束外延系统的特点和实验装置	第24-26 页
· RHEED的特点与系统结构	第26-30 页
· 微观分析方法	第30-36 页
· 原子力显微镜分析	第30-32 页
· X射线衍射分析	第32-36 页
第三章 BST薄膜生长的模式控制研究	第36-54 页
· 引言	第36-37 页
· BST类薄膜的生长模式控制和机理研究	第37-48 页
· 薄膜外延生长模式的确定	第37-42 页
· 薄膜生长模式的控制及其图谱的绘制	第42-46 页
· 薄膜生长模式控制的机理研究	第46-48 页
· BST类薄膜的低温生长实验和动力学模型	第48-52 页
· BST类薄膜的低温生长实验	第48-52 页
· 薄膜低温生长动力学模型	第52 页
· 小结	第52-54 页
第四章 BST薄膜原胞生长动力学过程与模型研究	第54-72 页
· 引言	第54 页
· BST类薄膜外延生长过程中的表面扩散研究	第54-61 页
· BTO薄膜表面扩散的驰豫时间测量与激活能计算	第55-58 页
· 有效扩散率的计算	第58-61 页
· BST类薄膜多胞生长现象	第61-66 页
· 原胞生长机理研究	第66-70 页
· BST类薄膜单原胞生长动力学模型	第66-68 页
· 激光脉冲沉积中原胞形成的动力学过程和机理	第68-70 页
· 小结	第70-72 页
第五章 BST薄膜异质外延生长与应力释放研究	第72-90 页
· 引言	第72-73 页
· BST薄膜异质外延与应变释放动力学研究	第73-82 页
· 薄膜异质外延生长实验	第73-76 页
· 异质外延过程中应力释放的理论与实验研究	第76-82 页
· 压应力作用下BST薄膜表面微结构研究	第82-89 页
· 应变岛的控制与形成机理	第83-87 页
· 面内织构的控制与形成机理	第87-89 页
· 小结	第89-90 页
第六章 BST类薄膜自组织生长与应力调制	第90-108 页
· 引言	第90-91 页
· 不同界面应力对薄膜异质外延生长过程的影响	第91-97 页
· 压应力作用下薄膜异质生长的规律	第91-93 页
· 张应力作用下薄膜异质生长的规律	第93-95 页
· 应力调制作用下薄膜的非对称性生长	第95-97 页
· BST类薄膜异质外延自组织生长研究	第97-106 页
· 周期性自组织薄膜作为纳米线模板的机理	第106-107 页
· 小结	第107-108 页
第七章结论	第108-112 页
参考文献	第112-122 页
致谢	第122-123 页
作者简介	第123-124 页
攻读博士学位期间已发表和待发表的论文	第124-125 页
申请中的专利	第125 页

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