BST热释电薄膜材料及在红外探测器中的应用基础研究
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BST热释电薄膜材料及在红外探测器中的应用基础研究
论文目录
摘要
第1-7 页
ABSTRACT
第7-12 页
第一章 绪论
第12-27 页
· 引言
第12-13 页
· 热释电红外探测器
第13-20 页
· 工作原理
第14-15 页
· 工作模式
第15-16 页
· 主要参数
第16-20 页
· 热释电红外探测器的应用及发展
第20-24 页
· 应用特点
第20-22 页
· 陶瓷型热释电红外探测器
第22 页
· 薄膜型热释电红外探测器
第22-24 页
· 热释电薄膜及探测器研究状况
第24-26 页
· 国外研究现状
第24-25 页
· 国内研究现状
第25-26 页
· 本论文主要工作
第26-27 页
第二章 实验方法
第27-40 页
· BST薄膜制备方法
第27-28 页
· RF溅射原理
第27 页
· 倒筒靶RF溅射系统
第27-28 页
· 微观结构分析方法
第28-31 页
· XRD
第28-29 页
· SEM
第29-30 页
· AFM
第30-31 页
· 电性能测试
第31-37 页
· 介电性能测试
第31-33 页
· 热释电系数测试
第33-35 页
· 漏电流测试
第35-37 页
· 微细加工工艺
第37-40 页
· 光刻工艺
第37 页
· 图形化方法
第37-40 页
第三章 BST热释电薄膜的制备
第40-71 页
· 引言
第40-41 页
· 新型倒筒靶RF溅射枪研究
第41-48 页
· 倒筒靶RF磁控溅射
第41-42 页
· 倒筒靶溅射装置
第42-43 页
· 传统倒筒靶溅射枪
第43-46 页
· 新型倒筒靶溅射枪
第46-48 页
· BST薄膜制备工艺条件研究
第48-56 页
· 沉积速度
第49-52 页
· 沉积温度
第52-53 页
· 后退火温度
第53-54 页
· 后退火时间
第54-56 页
· BST薄膜低温自缓冲层技术
第56-69 页
· Pt/BST界面粗糙度
第57-61 页
· Pt(111)/BST(001)异质生长
第61-62 页
· 低温自缓冲层技术
第62-69 页
· 本章小结
第69-71 页
第四章 BST薄膜TDDB机理与调控方法研究
第71-96 页
· 引言
第71 页
· 理论基础
第71-78 页
· 导电机理
第71-76 页
· SiO_2薄膜的TDDB
第76-78 页
· PT/BST/NICR导电机理
第78-84 页
· 正偏压导电机理
第78-79 页
· 负偏压导电机理
第79-83 页
· Pt/BST/NiCr的微观特征
第83-84 页
· TDDB机理研究
第84-91 页
· TDDB调控方法
第91-94 页
· 本章小结
第94-96 页
第五章 BST薄膜红外探测器研究
第96-108 页
· 引言
第96 页
· BST薄膜红外探测器制作
第96-99 页
· 探测器结构与制作流程
第96-98 页
· 探测器制作
第98-99 页
· BST薄膜探测器光电响应测试
第99-106 页
· 测试系统
第99-102 页
· 测试要求
第102-103 页
· 测试结果
第103-106 页
· 本章小结
第106-108 页
第六章 结论和展望
第108-112 页
· 主要结论
第108-110 页
· 主要创新点
第110 页
· 前景展望
第110-112 页
致谢
第112-113 页
参考文献
第113-121 页
在读期间取得的研究成果
第121-123 页
本篇论文共
123
页,
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