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平面干涉仪参考面的高精度标定方法研究
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平面干涉仪参考面的高精度标定方法研究
论文目录
 
摘要第1-7页
Abstract第7-11页
1 绪论第11-17页
　　1.1 课题研究目的及意义第11页
　　1.2 国内外研究现状第11-15页
　　　　1.2.1 参考面标定的国内外现状第11-13页
　　　　1.2.2 平面装夹方式的现状第13-15页
　　1.3 本论文主要研究内容第15页
　　1.4 论文章节安排第15-17页
2 平面干涉参考面标定基本理论第17-27页
　　2.1 参考面标定理论第17-22页
　　　　2.1.1 传统的平面标定原理第17-19页
　　　　2.1.2 改进的平面标定原理第19-22页
　　2.2 移相干涉技术理论第22-26页
　　　　2.2.1 移相干涉技术基本原理第22-23页
　　　　2.2.2 移相干涉检测方法第23-25页
　　　　2.2.3 相移解包原理第25-26页
　　2.3 本章小结第26-27页
3 高精度参考面标定方法仿真第27-35页
　　3.1 传统平面面形标定仿真第27-30页
　　3.2 改进平面面形标定仿真第30-34页
　　3.3 本章小结第34-35页
4 参考面装夹自重微变形分析及面形误差补偿第35-56页
　　4.1 参考面装夹自重变形有限元分析第35-45页
　　　　4.1.1 100mm口径参考平面装夹自重变形分析第36-37页
　　　　4.1.2 300mm口径参考平面装夹自重变形分析第37-45页
　　4.2 参考平面装夹自重变形数据预处理第45-48页
　　　　4.2.1 100mm口径参考平面变形数据预处理第45-47页
　　　　4.2.2 300mm口径参考平面变形数据预处理第47-48页
　　4.3 装夹自重变形与面形标定结果影响关系第48-54页
　　　　4.3.1 100mm口径装夹自重变形对面形标定结果的影响第49-51页
　　　　4.3.2 300mm口径装夹自重变形对面形标定结果的影响第51-54页
　　4.4 基于装夹自重微变形的面形误差补偿第54-55页
　　4.5 本章小结第55-56页
5 平面干涉参考面标定实验与分析第56-64页
　　5.1 参考平面标定实验第56-61页
　　　　5.1.1 实验方案第56页
　　　　5.1.2 实验器件第56-58页
　　　　5.1.3 实验数据及分析第58-61页
　　5.2 误差分析第61-63页
　　　　5.2.1 干涉仪系统误差第61-62页
　　　　5.2.2 实验环境误差第62页
　　　　5.2.3 相位提取误差第62页
　　　　5.2.4 仿真与实际变形误差第62页
　　　　5.2.5 定位误差第62-63页
　　5.3 本章小结第63-64页
6 结论与展望第64-67页
　　6.1 结论第64-65页
　　6.2 展望第65-67页
参考文献第67-71页
攻读硕士学位期间发表的论文第71-72页
致谢第72-73页

本篇论文共73页，点击这进入下载页面。
 
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