组合化学法制备组成梯度PZT铁电薄膜及性能研究
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组合化学法制备组成梯度PZT铁电薄膜及性能研究
论文目录
作者简介
第1-8页
摘要
第8-10页
ABSTRACT
第10-14页
第一章 绪论
第14-25页
§· PZT铁电薄膜材料
第14-18页
· 铁电材料及性能
第14-15页
· PZT的结构特征
第15-16页
· PZT铁电材料的发展与应用
第16-17页
· PZT铁电薄膜材料的制备方法
第17-18页
§· 组成梯度PZT铁电薄膜
第18-22页
· 梯度功能材料
第18-19页
· 梯度铁电薄膜材料
第19-20页
· 梯度铁电薄膜研究中存在的问题
第20-22页
§· “组合化学法”的应用
第22-23页
§· 本文研究的目的及主要内容
第23-24页
§· 本文的创新点
第24-25页
第二章 单组分PZT薄膜的制备及性能研究
第25-43页
§· 实验原理
第25-26页
§· 实验原料及设备
第26-27页
§· PZT前驱溶液制备流程
第27-29页
· PT前驱溶液的制备(Pb过量10%)
第27页
· PZ前驱溶液的制备(Pb过量10%)
第27-28页
· PZT溶液的制备
第28-29页
§· 单组分PZT薄膜的制备流程
第29-30页
· 基片的选择及清洗
第29页
· 单组分PZT薄膜的制备
第29-30页
§· 单组分PZT薄膜的结构性能测试与分析
第30-41页
· X射线衍射结构分析
第30-32页
· X射线光电子能谱成分分析
第32-33页
· 原子力显微镜表面形貌分析
第33-35页
· 扫描电镜形貌分析
第35-36页
· 电性能测试
第36-41页
§· 本章小结
第41-43页
第三章 组成梯度PZT铁电薄膜的制备及性能研究
第43-59页
§· 组成梯度PZT铁电薄膜的设计
第43页
§· 组成梯度PZT铁电薄膜的制备
第43-44页
§· 组成梯度PZT铁电薄膜的结构性能测试与分析
第44-57页
· 俄歇电子能谱组成梯度分析
第44-45页
· X射线衍射结构分析
第45-47页
· 扫描电镜形貌分析
第47页
· 原子力显微镜表面形貌分析
第47-48页
· 电性能测试
第48-57页
§· 本章小结
第57-59页
第四章 结论及展望
第59-61页
§· 实验结论
第59-60页
§· 展望
第60-61页
致谢
第61-62页
参考文献
第62-68 页
本篇论文共
68
页,
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。
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