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组合化学法制备组成梯度PZT铁电薄膜及性能研究

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组合化学法制备组成梯度PZT铁电薄膜及性能研究
论文目录
 
作者简介第1-8页
摘要第8-10页
ABSTRACT第10-14页
第一章 绪论第14-25页
  §· PZT铁电薄膜材料第14-18页
    · 铁电材料及性能第14-15页
    · PZT的结构特征第15-16页
    · PZT铁电材料的发展与应用第16-17页
    · PZT铁电薄膜材料的制备方法第17-18页
  §· 组成梯度PZT铁电薄膜第18-22页
    · 梯度功能材料第18-19页
    · 梯度铁电薄膜材料第19-20页
    · 梯度铁电薄膜研究中存在的问题第20-22页
  §· “组合化学法”的应用第22-23页
  §· 本文研究的目的及主要内容第23-24页
  §· 本文的创新点第24-25页
第二章 单组分PZT薄膜的制备及性能研究第25-43页
  §· 实验原理第25-26页
  §· 实验原料及设备第26-27页
  §· PZT前驱溶液制备流程第27-29页
    · PT前驱溶液的制备(Pb过量10%)第27页
    · PZ前驱溶液的制备(Pb过量10%)第27-28页
    · PZT溶液的制备第28-29页
  §· 单组分PZT薄膜的制备流程第29-30页
    · 基片的选择及清洗第29页
    · 单组分PZT薄膜的制备第29-30页
  §· 单组分PZT薄膜的结构性能测试与分析第30-41页
    · X射线衍射结构分析第30-32页
    · X射线光电子能谱成分分析第32-33页
    · 原子力显微镜表面形貌分析第33-35页
    · 扫描电镜形貌分析第35-36页
    · 电性能测试第36-41页
  §· 本章小结第41-43页
第三章 组成梯度PZT铁电薄膜的制备及性能研究第43-59页
  §· 组成梯度PZT铁电薄膜的设计第43页
  §· 组成梯度PZT铁电薄膜的制备第43-44页
  §· 组成梯度PZT铁电薄膜的结构性能测试与分析第44-57页
    · 俄歇电子能谱组成梯度分析第44-45页
    · X射线衍射结构分析第45-47页
    · 扫描电镜形貌分析第47页
    · 原子力显微镜表面形貌分析第47-48页
    · 电性能测试第48-57页
  §· 本章小结第57-59页
第四章 结论及展望第59-61页
  §· 实验结论第59-60页
  §· 展望第60-61页
致谢第61-62页
参考文献第62-68 页

本篇论文共68页,点击这进入下载页面
 
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