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聚合物平板微器件的翘曲及模内键合研究

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聚合物平板微器件的翘曲及模内键合研究
论文目录
 
摘要第1-6页
Abstract第6-10页
1 绪论第10-18页
  · 课题背景及意义第10-12页
  · 国内外研究现状第12-16页
    · 微注塑成型翘曲的研究现状第12-15页
    · 聚合物平板微器件键合的研究现状第15-16页
  · 本文主要内容第16-18页
2 型芯可插拔式微注塑模具的设计与制造第18-34页
  · Babyplast610微型注塑机简介第18-19页
  · 平板微器件的结构设计第19页
  · 微注塑模具结构设计第19-32页
    · 模具总体结构第19-20页
    · 型芯装配方式设计第20-22页
    · 浇注系统设计第22-28页
    · 模温控制系统设计第28-29页
    · 排气系统设计第29-30页
    · 推出机构设计第30-32页
  · 微注塑模具的制造第32-33页
    · 模具零部件的制造第32-33页
    · 模具型芯的制作第33页
  · 本章小结第33-34页
3 平板微器件结构及工艺参数对翘曲的影响第34-50页
  · 翘曲的基本原理第34-36页
    · 翘曲产生的原因第34-35页
    · 翘曲的主要影响因素第35-36页
  · 翘曲仿真试验第36-44页
    · 试验方法概述第36-38页
    · 基于正交试验的翘曲仿真第38-39页
    · 注塑残余应力分析第39-40页
    · 试验结果分析第40-44页
  · 翘曲测量实验第44-49页
    · 实验设备第44-45页
    · 实验方法与过程第45-46页
    · 测量实验结果分析第46-49页
  · 本章小结第49-50页
4 辅助溶剂对平板微器件模内键合的影响第50-61页
  · 聚合物溶剂辅助键合原理第50-52页
    · 模内键合在实验中的问题第50-51页
    · 溶剂辅助键合原理第51-52页
  · PMMA芯片与辅助溶剂相溶性测试第52-56页
    · 实验设备第52页
    · 实验方法与过程第52-53页
    · 微通道形貌与芯片表面质量的观测第53-56页
  · 借助辅助溶剂的模内键合实验第56-60页
    · 实验设备第56-57页
    · 实验方法与过程第57-58页
    · 微通道形貌观测第58-59页
    · 芯片键合强度测试第59-60页
  · 本章小结第60-61页
结论第61-62页
参考文献第62-66页
攻读硕士学位期间发表学术论文情况第66-67页
致谢第67-68页

本篇论文共68页,点击这进入下载页面
 
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