聚合物平板微器件的翘曲及模内键合研究
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聚合物平板微器件的翘曲及模内键合研究
论文目录
摘要
第1-6页
Abstract
第6-10页
1 绪论
第10-18页
· 课题背景及意义
第10-12页
· 国内外研究现状
第12-16页
· 微注塑成型翘曲的研究现状
第12-15页
· 聚合物平板微器件键合的研究现状
第15-16页
· 本文主要内容
第16-18页
2 型芯可插拔式微注塑模具的设计与制造
第18-34页
· Babyplast610微型注塑机简介
第18-19页
· 平板微器件的结构设计
第19页
· 微注塑模具结构设计
第19-32页
· 模具总体结构
第19-20页
· 型芯装配方式设计
第20-22页
· 浇注系统设计
第22-28页
· 模温控制系统设计
第28-29页
· 排气系统设计
第29-30页
· 推出机构设计
第30-32页
· 微注塑模具的制造
第32-33页
· 模具零部件的制造
第32-33页
· 模具型芯的制作
第33页
· 本章小结
第33-34页
3 平板微器件结构及工艺参数对翘曲的影响
第34-50页
· 翘曲的基本原理
第34-36页
· 翘曲产生的原因
第34-35页
· 翘曲的主要影响因素
第35-36页
· 翘曲仿真试验
第36-44页
· 试验方法概述
第36-38页
· 基于正交试验的翘曲仿真
第38-39页
· 注塑残余应力分析
第39-40页
· 试验结果分析
第40-44页
· 翘曲测量实验
第44-49页
· 实验设备
第44-45页
· 实验方法与过程
第45-46页
· 测量实验结果分析
第46-49页
· 本章小结
第49-50页
4 辅助溶剂对平板微器件模内键合的影响
第50-61页
· 聚合物溶剂辅助键合原理
第50-52页
· 模内键合在实验中的问题
第50-51页
· 溶剂辅助键合原理
第51-52页
· PMMA芯片与辅助溶剂相溶性测试
第52-56页
· 实验设备
第52页
· 实验方法与过程
第52-53页
· 微通道形貌与芯片表面质量的观测
第53-56页
· 借助辅助溶剂的模内键合实验
第56-60页
· 实验设备
第56-57页
· 实验方法与过程
第57-58页
· 微通道形貌观测
第58-59页
· 芯片键合强度测试
第59-60页
· 本章小结
第60-61页
结论
第61-62页
参考文献
第62-66页
攻读硕士学位期间发表学术论文情况
第66-67页
致谢
第67-68页
本篇论文共
68
页,
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