ALD法制备AZO薄膜及光电性质研究



ALD法制备AZO薄膜及光电性质研究

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ALD法制备AZO薄膜及光电性质研究

论文目录
摘要	第1-4页
ABSTRACT	第4-6页
第一章绪论	第6-15页
· 氧锌铝薄膜的概述	第6-7页
· 薄膜的晶体结构	第7-8页
· AZO薄膜的光电特性	第8页
· 薄膜制备方法	第8-13页
· 原子层沉积法制备AZO薄膜的过程与优点	第13-14页
· AZO薄膜的应用前景	第14页
· 本论文主要研究内容	第14-15页
第二章 ALD法制备AZO薄膜的前期准备和测试表征方法	第15-20页
· 衬底的清洗	第15页
· 实验仪器	第15-16页
· 测试表征方法	第16-19页
· X射线衍射(xrd)测试	第16-17页
· 扫描电子显微镜(SEM)	第17-18页
· 光致发光谱(PL)	第18页
· 霍尔效应	第18-19页
· 本章小结	第19-20页
第三章 AZO样品的实验制备过程、原理与表征分析	第20-29页
· AZO样品的制备过程	第20-22页
· 样品的表征	第22-28页
· 不同温度对样品的影响	第22-23页
· 不同铝含量的AZO薄膜的表征	第23-28页
· 本章小结	第28-29页
第四章基于AZO薄膜的有机近红外光电探测器的研究	第29-37页
· 器件制备前期准备工作	第29-30页
· 基于ITO的传统薄膜器件	第30-32页
· 基于AZO薄膜的有机近红外探测器的性能研究	第32-35页
· 本章小结	第35-37页
第五章结论	第37-38页
致谢	第38-39页
参考文献	第39-43页
硕士期间以第一作者发表的文章	第43页

本篇论文共43页，点击这进入下载页面。

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