碳化硅外延石墨烯方法生长设备研制与工艺探索



碳化硅外延石墨烯方法生长设备研制与工艺探索

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碳化硅外延石墨烯方法生长设备研制与工艺探索

论文目录
摘要	第1-4页
ABSTRACT	第4-7页
第一章绪论	第7-15页
· 石墨烯材料及研究意义	第7-12页
· 石墨烯结构概述	第7-9页
· 石墨烯的独特性质及潜在应用	第9-11页
· 石墨烯的几种制备方法	第11-12页
· 国内外研究现状和外延设备	第12-14页
· 本文主要内容和工作步骤	第14-15页
第二章碳化硅外延石墨烯生长机理与工艺	第15-27页
· 碳化硅外延石墨烯	第15-20页
· 碳化硅结构与分类	第15-16页
· 碳化硅制备石墨烯原理	第16-17页
· 石墨烯生长工艺过程	第17-20页
· 碳化硅外延石墨烯工艺需求与设备发展	第20-21页
· 碳化硅外延石墨烯工艺需求	第20-21页
· 半导体设备发展现状	第21页
· 碳化硅外延石墨烯设备研制过程中需要注意的问题	第21-26页
· 气路监测控制	第21-23页
· 真空反应室问题	第23页
· 真空室检漏	第23-25页
· 流量计和电磁阀	第25-26页
· 本章小结	第26-27页
第三章碳化硅外延石墨烯设备的实现及调试	第27-45页
· 石墨烯制备设备各系统的实现与连接	第27-39页
· 加热系统	第27-30页
· 真空系统	第30-36页
· 真空计	第36-37页
· 气路流量控制系统	第37-38页
· 水浴冷却系统	第38页
· 尾气处理系统	第38-39页
· 主控设备原理与实现	第39-42页
· 软硬件协同工作实现	第42-44页
· 本章小结	第44-45页
第四章石墨烯制备设备应用及工艺实验	第45-53页
· 碳化硅外延高温热解法和氯化碳化硅得到石墨烯	第45-46页
· 热解碳化硅法制备石墨烯	第45页
· 氯化碳化硅法制备石墨烯	第45-46页
· 热解法石墨烯的工艺步骤	第46-47页
· 热解法石墨烯的表征与分析	第47-52页
· 本章小结	第52-53页
第五章总结与展望	第53-55页
致谢	第55-57页
参考文献	第57-61页
研究成果	第61-62页

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