利用磁控溅射原位制备外延Y1Ba2Cu3O7-δ薄膜的研究



利用磁控溅射原位制备外延Y₁Ba₂Cu₃O_7-δ薄膜的研究

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利用磁控溅射原位制备外延Y₁Ba₂Cu₃O_7-δ薄膜的研究

论文目录
摘要	第1-5页
Abstract	第5-8页
引言	第8-9页
1 YBCO和LBCO的概述	第9-16页
· YBCO的结构	第9-11页
· YBCO薄膜应用	第11-14页
· 带材	第12页
· 半导体器件	第12-14页
· 微波器件	第14页
· LBCO的概述	第14-16页
2 YBCO薄膜的制备技术	第16-21页
· 三步法与两步法	第16页
· 磁控溅射法	第16-19页
· 磁控溅射腔体结构设备	第17-19页
· 磁控溅射制备YBCO薄膜工作气压	第19页
· 其他方法	第19-21页
3 YBCO薄膜制备及表征方法	第21-27页
· 靶材制备	第21-22页
· 基片参数	第22页
· YBCO薄膜的制备方法	第22-25页
· 射频磁控溅射的基本原理	第23-24页
· 实验设备	第24-25页
· YBCO薄膜的分析	第25-27页
· X射线衍射仪	第25-26页
· 原子力显微镜	第26-27页
4 溅射功率与气压对YBCO薄膜生长的影响	第27-34页
· YBCO薄膜样品制备	第27页
· 结果与讨论	第27-32页
· 溅射功率与气压对YBCO薄膜结构的影响	第27-31页
· 溅射功率与气压对YBCO薄膜形貌的影响	第31-32页
· 其他因素影响	第32页
· 本章小结	第32-34页
5 引入LBCO缓冲层对YBCO薄膜生长的影响	第34-41页
· YBCO薄膜样品制备	第34页
· 结果与讨论	第34-40页
· 引入LBCO缓冲层对YBCO薄膜结构的影响	第35-38页
· 引入LBCO缓冲层对YBCO薄膜形貌的影响	第38-40页
· 本章小结	第40-41页
结论	第41-42页
参考文献	第42-44页
读硕士学位期间发表学术论文情况	第44-45页
致谢	第45-46页

本篇论文共46页，点击这进入下载页面。

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