基于电子散斑干涉的形貌测量研究



基于电子散斑干涉的形貌测量研究

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基于电子散斑干涉的形貌测量研究

论文目录
摘要	第1-8页
Abstract	第8-10页
第一章绪论	第10-18页
· 概述	第10页
· 物体三维形貌测量的分类	第10-17页
· 本论文的主要研究内容	第17页
· 本章小结	第17-18页
第二章电子散斑干涉技术	第18-36页
· 激光散斑现象及其分类	第18-19页
· 光学测量的基本构成	第19页
· 散斑干涉原理	第19-24页
· 相位变化与位移矢量的关系	第22-23页
· 典型实验光路下的光波相位与位移矢量关系	第23-24页
· 相位的提取与展开	第24-34页
· 相移法	第24-32页
· 实现相移的装置	第25-26页
· 相移原理	第26-27页
· 相移算法	第27-32页
· 傅里叶变换法	第32-34页
· 相位展开	第34页
· 本章小结	第34-36页
第三章电子散斑形貌测量技术	第36-46页
· 双波长散斑干涉技术	第36-38页
· 偏转物体法	第38-45页
· 偏转物体的散斑载频调制形貌测量的原理	第38-40页
· 傅立叶变换法解调	第40-42页
· 四步相移法解调	第42-45页
· 本章小结	第45-46页
第四章对新型大剪切棱镜的研究	第46-52页
· 大剪切电子散斑测量的基本原理	第46-47页
· 新型大剪切棱镜的制作原理	第47-49页
· 平移新型大剪切棱镜的相移原理	第49-51页
· 本章小结	第51-52页
第五章基于新型棱镜的形貌测量干涉的实验	第52-60页
· 四步相移实验	第52-56页
· 实验的发现与改进	第55-56页
· 傅里叶变换实验	第56-57页
· 本章小结	第57-60页
参考文献	第60-64页
攻读硕士学位期间发表的论文	第64-66页
致谢	第66页

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