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溶胶—凝胶法制备ZnO：Al透明导电薄膜及其性能研究
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溶胶—凝胶法制备ZnO：Al透明导电薄膜及其性能研究
论文目录
 
摘要第1-5 页
Abstract第5-8 页
第一章 绪论第8-21 页
　　· 引言第8-11 页
　　　　· 薄膜材料第8-9 页
　　　　· 透明导电薄膜第9-11 页
　　· AZO薄膜的基本性质第11-15 页
　　　　· AZO薄膜的晶体结构第11-12 页
　　　　· AZO薄膜的电学性质第12-13 页
　　　　· AZO薄膜的光学性质第13-14 页
　　　　· AZO薄膜的气敏特性第14 页
　　　　· AZO薄膜的压敏特性第14 页
　　　　· AZO薄膜的压电特性第14-15 页
　　· AZO薄膜的应用第15-17 页
　　　　· 平面显示领域第15 页
　　　　· 薄膜太阳能电池第15 页
　　　　· 电磁屏蔽第15-16 页
　　　　· 热阻挡层第16 页
　　　　· 压电材料第16-17 页
　　　　· 气敏传感器第17 页
　　· AZO薄膜的制备方法第17-20 页
　　　　· 磁控溅射(Magnetron Sputtering)第17-18 页
　　　　· 脉冲激光沉积(PLD)第18 页
　　　　· 金属有机物化学气相沉积(MOCVD)第18 页
　　　　· 分子束外延(MBE)第18-19 页
　　　　· 喷雾热分解法(Spray Pyrolysis)第19 页
　　　　· 溶胶-凝胶法(Sol-Gel)第19-20 页
　　· 课题研究的意义及内容第20-21 页
第二章 溶胶-凝胶法制备AZO薄膜第21-28 页
　　· 溶胶-凝胶法成膜机理和工艺第21-24 页
　　　　· 溶胶-凝胶法的定义第21 页
　　　　· 溶胶-凝胶法的基本原理第21-23 页
　　　　· 溶胶-凝胶制备薄膜的方法第23-24 页
　　· 实验原料及仪器设备第24-25 页
　　　　· 实验原料第24-25 页
　　　　· 实验设备与器材第25 页
　　· AZO薄膜试样制备过程第25-28 页
　　　　· 溶胶的配制第25-26 页
　　　　· 衬底的处理第26 页
　　　　· AZO薄膜的制备第26-28 页
第三章 AZO薄膜的结构表征及形貌观察第28-41 页
　　· X射线衍射分析(XRD)第28-30 页
　　· 扫描电子显微分析(SEM)第30-31 页
　　· 实验结果与讨论第31-39 页
　　　　· 表面及断面形貌第31-33 页
　　　　· 热处理温度对薄膜晶体结构的影响第33-35 页
　　　　· 冷却速率对薄膜晶体结构的影响第35 页
　　　　· Al~(3+)掺杂浓度对薄膜晶体结构的影响第35-37 页
　　　　· 溶胶浓度对薄膜晶体结构的影响第37-38 页
　　　　· 干燥温度对薄膜晶体结构的影响第38-39 页
　　· 小结第39-41 页
第四章 AZO薄膜的电学性能第41-49 页
　　· AZO薄膜的导电机理第41-42 页
　　· 四探针法测量薄膜的方块电阻第42-43 页
　　· 实验结果与讨论第43-48 页
　　　　· 热处理温度和冷却速率对薄膜电学性能的影响第43-45 页
　　　　· Al~(3+)掺杂浓度对薄膜电学性能的影响第45-46 页
　　　　· 旋涂层数对薄膜电学性能的影响第46 页
　　　　· 溶胶浓度对薄膜电学性能的影响第46-47 页
　　　　· 干燥温度对薄膜电学性能的影响第47-48 页
　　· 小结第48-49 页
第五章 AZO薄膜的光学性能第49-58 页
　　· ZnO薄膜的光学性能第49 页
　　· 紫外-可见分光光度计测量薄膜的透光率第49-50 页
　　· 实验结果与讨论第50-57 页
　　　　· 热处理温度对薄膜透光率的影响第52-53 页
　　　　· 冷却速率对薄膜透光率的影响第53 页
　　　　· Al~(3+)掺杂浓度对薄膜透光率的影响第53-56 页
　　　　· 旋涂层数和溶胶浓度对薄膜透光率的影响第56-57 页
　　· 小结第57-58 页
第六章 结论第58-60 页
参考文献第60-65 页
在研究生期间发表的论文第65-66 页
致谢第66 页

本篇论文共66页，点击这进入下载页面。
 
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