稀土抛光粉抛光效率及机理的研究



稀土抛光粉抛光效率及机理的研究

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稀土抛光粉抛光效率及机理的研究

论文目录
摘要	第1-6页
Abstract	第6-10页
插图索引	第10-11页
附表索引	第11-12页
第1章绪论	第12-27页
· 前言	第12-13页
· CMP技术研究现状	第13-21页
· CMP技术简介	第13-18页
· CMP机理研究进展	第18-21页
· CMP抛光液及调配	第21-25页
· CMP抛光粉体组成和抛光液的调配	第21页
· 纳米粉体在液体中的分散	第21-25页
· 选题意义及研究内容	第25-27页
· 研究的意义	第25-26页
· 主要研究内容	第26-27页
第2章实验研究与表征方法	第27-32页
· 实验原料	第27页
· 实验试剂和仪器	第27-28页
· 抛光液的配制	第28-29页
· CeO_2抛光粉的表面改性	第28页
· 抛光液的配制	第28-29页
· CeO_2抛光粉的表征与抛光性能测试	第29-32页
· Zeta电位分析	第29页
· 红外光谱分析	第29页
· 形貌分析	第29页
· 粒度分析	第29-30页
· 悬浮性评价	第30页
· 流变性测试	第30页
· 物相分析	第30页
· 抛光性能测试	第30-32页
第3章稀土抛光粉的表面改性及抛光性能研究	第32-42页
· 前言	第32页
· 实验结果与分析	第32-41页
· 高分子分散剂对抛光液Zeta电位的影响	第32-33页
· 改性前后抛光粉的红外光谱	第33-34页
· 改性前后抛光粉的表面性质	第34-35页
· PEI对抛光粉分散性和稳定性的影响	第35-37页
· PEI对抛光液流变性能的影响	第37-38页
· PEI改性对抛光液抛光性能的影响	第38-39页
· 促进作用机理分析	第39-41页
· 本章小结	第41-42页
第4章电解质对抛光粉分散性及抛光性能的影响	第42-48页
· 前言	第42页
· 实验结果与分析	第42-46页
· 电解质对CeO_2抛光粉颗粒表面Zeta电位的影响	第42-43页
· 电解质对CeO_2抛光液粒度分布的影响	第43-44页
· 电解质对CeO_2抛光液悬浮稳定性的影响	第44-45页
· 电解质对CeO_2抛光液抛光性能的影响	第45页
· 促进作用机理分析	第45-46页
· 本章小结	第46-48页
第5章 CMP稀土抛光液的配制及其抛光效果研究	第48-57页
· 前言	第48页
· 实验结果与分析	第48-56页
· 抛光粉的形貌对抛光效果的影响	第48-51页
· 抛光液的浓度对抛光效率的影响	第51页
· 抛光液的配制及抛光性能分析	第51-54页
· 玻璃表面CMP抛光机理分析	第54-56页
· 本章小结	第56-57页
结论	第57-58页
参考文献	第58-63页
致谢	第63-64页
附录A 攻读硕士学位期间所发表的学术论文	第64 页

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