超导太赫兹直接检测器的制备研究



超导太赫兹直接检测器的制备研究

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超导太赫兹直接检测器的制备研究

论文目录
摘要	第1-4页
ABSTRACT	第4-8页
第一章绪论	第8-13页
1.1 引言	第8-9页
1.2 太赫兹检测	第9-10页
1.2.1 直接检测器	第9-10页
1.2.2 外差检测器	第10页
1.3 超导隧道结直接检测器	第10-11页
1.3.1 超导理论	第10-11页
1.3.2 超导直接检测原理	第11页
1.4 论文结构和主要内容	第11-13页
第二章太赫兹直接检测器的设计	第13-19页
2.1 直接检测器概念	第13-15页
2.1.1 光子检测	第13-14页
2.1.2 视频检测	第14-15页
2.2 直接检测器设计	第15-18页
2.2.1 平面对数周期天线	第15-17页
2.2.2 超导微带线	第17页
2.2.3 超导隧道结结阵	第17-18页
2.2.4 超导直接检测器设计	第18页
2.3 本章小结	第18-19页
第三章太赫兹直接检测器的制备工艺	第19-40页
3.1 制备工艺简介	第19-30页
3.1.1 光刻	第19-24页
3.1.2 磁控溅射	第24-27页
3.1.3 等离子体增强化学气相沉积	第27-29页
3.1.4 反应离子刻蚀RIE	第29-30页
3.2 关键工艺改进	第30-31页
3.2.1 stepper光刻	第30页
3.2.2 斜坡底电极刻蚀	第30-31页
3.3 具体工艺过程	第31-39页
3.3.1 磁控溅射Nb/Al- AlOx/Nb三层结构	第32-33页
3.3.2 制备天线和测试引线	第33-36页
3.3.3 制备隧道结结阵	第36-38页
3.3.4 制备上引线	第38-39页
3.3.5 划片与测试	第39页
3.4 本章小结	第39-40页
第四章测试结果与分析	第40-44页
4.1 测量原理	第40-41页
4.2 结果与分析	第41-42页
4.3 本章小结	第42-44页
第五章论文工作总结与展望	第44-45页
致谢	第45-46页
参考文献	第46-50页
硕士期间发表的学术论文以及参加的学术会议	第50-51页

本篇论文共51页，点击这进入下载页面。

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