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一种新型三轴微加速度计的设计与制作
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一种新型三轴微加速度计的设计与制作
论文目录
 
目录第1-7页
表目录第7-8页
图目录第8-10页
摘要第10-11页
ABSTRACT第11-13页
第一章 绪论第13-21页
　　· MEMS 简介第13页
　　· 课题的研究背景与意义第13-14页
　　· 国内外研究现状第14-21页
　　　　· 国外微加速度计研究现状第14-18页
　　　　· 国内微加速度计研究现状第18-21页
第二章 微加速度计结构设计基础第21-29页
　　· 微加速度计检测方式的选择第21-22页
　　　　· 压阻式加速度计第21页
　　　　· 压电式加速度计第21页
　　　　· 电容式加速度计第21-22页
　　　　· 检测方式的确定第22页
　　· 微加速度计制作材料的选择第22-24页
　　　　· Si 材料的选择第22-23页
　　　　· 玻璃材料的选择第23-24页
　　· 微加速度计理论模型分析第24-28页
　　　　· 等效理论模型第24-25页
　　　　· 幅频特性分析第25-27页
　　　　· 相频特性分析第27-28页
　　· 本章小结第28-29页
第三章 微加速度计的结构设计与分析第29-47页
　　· 微加速度计的总体结构设计与工作原理第29-32页
　　　　· 总体结构设计第29-30页
　　　　· 工作原理第30-32页
　　　　· 解算方法第32页
　　· 微加速度计尺寸的确定依据第32-38页
　　　　· 灵敏度第32-37页
　　　　· 模态频率第37-38页
　　· 微加速度计的设计第38-43页
　　　　· 排列方式设计第38-39页
　　　　· 阻尼设计第39-41页
　　　　· 锚点设计第41-42页
　　　　· 匹配电容设计第42-43页
　　· 微加速度计尺寸的确定第43-45页
　　　　· 硅结构尺寸的确定第43-44页
　　　　· 玻璃结构尺寸的确定第44-45页
　　· 微加速度计的仿真计算第45-46页
　　　　· 灵敏度的仿真计算第45页
　　　　· 带宽的计算第45-46页
　　· 本章小结第46-47页
第四章 微加速度计的制作工艺研究第47-55页
　　· MEMS 加工技术第47-48页
　　　　· 体微加工技术第47页
　　　　· LIGA 技术和 DEM 技术第47-48页
　　　　· 表面微加工技术第48页
　　　　· 键合技术第48页
　　· 微加速度计的制作流程第48-50页
　　　　· 总体工艺流程第49页
　　　　· 相关工艺介绍第49-50页
　　· 微加速度计的制作第50-54页
　　　　· 硅结构的制作第50-51页
　　　　· 玻璃结构的制作第51-52页
　　　　· “硅-玻璃”的键合第52-53页
　　　　· 整体结构的划片第53页
　　　　· 单机结构的封装第53-54页
　　· 本章小结第54-55页
第五章 微加速度计的测控电路设计第55-67页
　　· 电容式微加速度计的检测原理与方法第55-57页
　　　　· 电容检测原理第55-56页
　　　　· 信号检测的几种方法第56-57页
　　· 测控电路的硬件设计第57-61页
　　　　· 电路设计的总体思路第57-58页
　　　　· 测量芯片的选取及其设计第58-59页
　　　　· 单片机的选取及其设计第59-60页
　　　　· 接口转换电路的设计第60-61页
　　· 测控电路的软件设计第61-65页
　　　　· 测控电路主程序第62页
　　　　· AD7747 初始化程序第62-64页
　　　　· UART 通信程序第64-65页
　　· 上位机的界面设计第65页
　　· 本章小结第65-67页
第六章 微加速度计的性能测试第67-73页
　　· 测试系统第67-68页
　　· 性能测试第68-72页
　　　　· 筛选测试第68-69页
　　　　· 灵敏度测试第69-70页
　　　　· 精确度测试第70-72页
　　· 本章小结第72-73页
第七章 总结与展望第73-75页
　　· 全文总结第73页
　　· 工作展望第73-75页
致谢第75-77页
参考文献第77-82页
作者在学期间取得的学术成果第82 页

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