硅/锗掺杂类金刚石薄膜特性研究



硅/锗掺杂类金刚石薄膜特性研究

分类：教育论文网→数理科学和化学论文→物理学论文→固体物理学论文→薄膜物理学论文→薄膜的性质论文

硅/锗掺杂类金刚石薄膜特性研究

论文目录
摘要	第1-4页
Abstract	第4-8页
1 绪论	第8-19页
· 课题研究的背景	第8页
· 课题研究的目的和意义	第8-9页
· 类金刚石薄膜概述	第9-13页
· 类金刚石薄膜简介	第9页
· 类金刚石薄膜的制备技术	第9-11页
· 类金刚石薄膜的性质、应用及其存在的主要问题	第11-13页
· 元素掺杂类金刚石薄膜的研究进展	第13-17页
· 金属掺杂类金刚石薄膜的研究现状	第14页
· 非金属掺杂类金刚石薄膜的研究现状	第14-15页
· 硅、锗掺杂类金刚石薄膜的研究现状	第15-17页
· 本文的研究内容及技术路线	第17-18页
· 本文内容安排	第18页
· 本章小结	第18-19页
2 试验设备及薄膜的测试分析方法	第19-35页
· 试验设备	第19-23页
· 电子束热蒸发设备及原理	第19-21页
· 脉冲真空电弧离子源	第21-22页
· 离子源设备及原理	第22-23页
· 薄膜检测设备	第23-26页
· 椭圆偏振仪	第23-24页
· 分光光度计	第24-25页
· 傅里叶变换红外光谱仪	第25页
· Taly Surf CCI非接触式干涉仪	第25-26页
· 薄膜红外光学特性分析方法	第26-34页
· Si薄膜、Ge薄膜的红外光学常数测量	第27-31页
· DLC薄膜的红外光学常数测量	第31-34页
· 本章小结	第34-35页
3 硅、锗和DLC薄膜的制备及性能分析	第35-46页
· Si薄膜的制备及其红外光学特性分析	第36-40页
· Si薄膜的制备工艺	第36页
· 试验结果与讨论	第36-40页
· Ge薄膜的制备及其红外光学特性分析	第40-44页
· Ge薄膜的制备工艺	第40-41页
· 试验结果与讨论	第41-44页
· DLC薄膜的制备及其红外光学特性分析	第44-45页
· DLC薄膜的制备工艺	第44页
· 试验结果与讨论	第44-45页
· 本章小结	第45-46页
4 Si-DLC和Ge-DLC薄膜的制备及性能分析	第46-56页
· 试验设备简介	第46-48页
· 应力测试仪	第46-47页
· 硬度测试仪	第47-48页
· 硅掺杂类金刚石(Si-DLC)薄膜的制备及其特性分析	第48-52页
· 不同硅含量Si-DLC薄膜的制备	第48-50页
· Si-DLC薄膜的红外光学特性分析	第50-51页
· Si-DLC薄膜的力学特性分析	第51-52页
· 锗掺杂类金刚石(Ge-DLC)薄膜的制备及其特性分析	第52-55页
· 不同锗含量Ge-DLC薄膜的制备	第52-53页
· Ge-DLC薄膜的红外光学特性分析	第53-54页
· Ge-DLC薄膜的力学特性分析	第54-55页
· 本章小结	第55-56页
5 Si-DLC与Ge-DLC薄膜性能的比较	第56-62页
· Si-DLC薄膜与Ge-DLC薄膜光学特性的比较	第56-60页
· Si-DLC薄膜与Ge-DLC薄膜力学特性的比较	第60-61页
· 本章小结	第61-62页
6 结论	第62-64页
· 结论	第62-63页
· 展望	第63-64页
参考文献	第64-68页
攻读硕士学位期间发表的论文	第68-69页
致谢	第69-71 页

本篇论文共71页，点击这进入下载页面。

更多论文
硅/锗掺杂类金刚石薄膜特性研究
间同聚丁二烯及其共混物的合成与表
王梵志诗合成词专题研究
异化还是归化？--《法国中尉的女人
高重频窄脉宽声光调Q激光器的研究
可发性酚醛树脂合成及泡沫体性能研
晚清报载小说研究--以《申报》、《
论《诗经》中叠字的英译
光学层析干涉成像光谱系统的理论研
聚丁二烯与超细粒子P（St-DVB-MMA）
上海新感觉：中国现代文学史中“新
冷原子介质中的空间涡旋孤子
禅宗美学思想的生态智慧
橡胶制品有限元分析的研究应用
低频超低频振动激励系统的研究与设
《俗书刊误》研究
俄苏文学在中国的两副镜像--以蒋光
计算全息编码技术的研究
金属（Al、Zr、Mo）改性的MCM-41中
《字通》研究
新时期小说中的未成年人世界
N-甲酰吗啉的合成与相平衡研究
改进粒子群算法在薄膜参数反演与设
“东吴系女作家”研究（1938—1949
从感性的泛滥到理性的回归--新时期
用不同溅射方法镀制SiO₂
酰胺型开链冠醚及其配合物的合成、
周立波新探
“大众”的崛起--对30年代左翼文学
基于J2ME的Web Service医疗信息系统
药物分子及功能配合物的量子化学研
沈从文作品的古典和谐美--兼论沈从
1945—1949年中国现代文学格局转型
基于Web技术的网络考试系统设计与研
碱性品红等苯胺衍生物的光谱和电化
曹禺早期戏剧的文化内涵
eMule系统客户端设计关键问题研究
臭氧氧化不饱和脂肪酸制备中长链二
浅谈《世说新语》语气副词的特点和
陈子龙研究
企业服务总线（ESB）在企业电子商务
无卤阻燃HDPE的研究
《说文解字》“一曰”考析
40年代讽刺文学研究
基于单片机的定时温控系统设计与研
尼龙6/聚丙烯合金结构与性能的研究
《说文解字》小篆异体字初探
《方言》与扬雄词汇学思想研究
涡轮增压器5万台扩产改造项目关键技
主成分分析与神经网络在橡胶配方优
陕西潼关方言研究
《罗末丽初金石文》词汇语法专题研
视网膜投影显示技术研究
从《论语》、《孙膑兵法》看先秦汉
UFNPR/PP共混型热塑性弹性体的制备
秦汉时期楚方言区文献的语音研究
唐代藩镇使府节度掌书记考略
层状动力地基、贮仓结构、层状地基
对HDPE/MTH阻燃体系的改性研究
《居延新简》词语通释
东汉—北魏时期洛阳城市形态与内部
中国古都建设与自然的变迁--长安、
配体对铁系催化聚丁二烯的影响
魏晋南北朝简牍文字研究
清代洛川县土地利用与环境效应
非饱和土混合物理论及其应用

类金刚石(DLC)薄膜论文掺杂脉冲电弧离子镀论文红外光学特性论文力学特性论文
版权申明：目录由用户x**提供，www.51papers.com仅收录目录，作者需要删除这篇论文目录请点击这里。
\| 设为首页\|\|加入收藏\|\|站内搜索引擎\|\|站点地图\|\|在线购卡\|
版权所有教育论文网 Copyright(C) All Rights Reserved