教育论文网

电致化学抛光系统研制
硕士博士毕业论文站内搜索    
分类：教育论文网→工业技术论文→金属学与金属工艺论文→金属切削加工及机床论文→磨削加工与磨床论文→一般性问题论文→磨削加工工艺论文→抛光论文
电致化学抛光系统研制
论文目录
 
摘要第1-4页
Abstract第4-5页
1 绪论第8-18页
　　　　1.1 论文选题背景第8-13页
　　　　　　　　1.1.1 超光滑表面的应用第8-9页
　　　　　　　　1.1.2 超光滑表面加工技术第9-13页
　　　　1.2 电致化学抛光技术第13-16页
　　　　　　　　1.2.1 电致化学抛光方法第13-16页
　　　　　　　　1.2.2 关键技术和难点第16页
　　　　1.3 抛光系统要求和技术指标第16-17页
　　　　1.4 课题来源、研究目标与主要内容第17-18页
2 电致化学抛光系统设计第18-38页
　　　　2.1 电致化学抛光系统第18-23页
　　　　　　　　2.1.1 加工间隙控制方法第18-21页
　　　　　　　　2.1.2 物料平衡控制方法第21-22页
　　　　　　　　2.1.3 工件调平方法第22页
　　　　　　　　2.1.4 系统刚度第22-23页
　　　　2.2 系统设计方案与模块第23-35页
　　　　　　　　2.2.1 系统设计方案第23-25页
　　　　　　　　2.2.2 电解池及电极系统模块第25-26页
　　　　　　　　2.2.3 调平与检测系统模块第26-31页
　　　　　　　　2.2.4 抛光液循环模块及液膜检测模块第31-32页
　　　　　　　　2.2.5 运动控制系统模块第32-33页
　　　　　　　　2.2.6 其他模块第33-35页
　　　　2.3 系统关键技术第35-37页
　　　　2.4 本章小结第37-38页
3 超平滑电极稳定性研究第38-55页
　　　　3.1 承载力和刚度第38-46页
　　　　　　　　3.1.1 扇形液压腔静压支撑数学模型第38-40页
　　　　　　　　3.1.2 供液压力与支撑间隙关系研究第40-42页
　　　　　　　　3.1.3 液膜分辨率与刚度的解析第42-43页
　　　　　　　　3.1.4 电极倾斜时的数学模型第41-44页
　　　　　　　　3.1.5 承载力与倾覆力矩异向性的研究第44-46页
　　　　3.2 电极稳定性有限元数值分析第46-53页
　　　　　　　　3.2.1 COMSOL有限元模型第46-49页
　　　　　　　　3.2.2 模型验证第49-50页
　　　　　　　　3.2.3 倾斜方向角度、倾斜角度以及液压腔数目的影响分析第50-53页
　　　　3.3 本章小结第53-55页
4电致化学抛光实验第55-67页
　　　　4.1 实验前期处理第55-59页
　　　　　　　　4.1.1间隙标定实验第55-56页
　　　　　　　　4.1.2 高面型精度纯铜初始第56-57页
　　　　　　　　4.1.3 50mm溅射金电极第57-59页
　　　　4.2 加工实验第59-66页
　　　　　　　　4.2.1 静态刻蚀第60-63页
　　　　　　　　4.2.2 动态刻蚀第63-66页
　　　　4.3 本章小结第66-67页
结论与展望第67-68页
参考文献第68-71页
攻读硕士学位期间发表学术论文情况第71-72页
致谢第72-73页

本篇论文共73页，点击这进入下载页面。
 
更多论文
电致化学抛光系统研制
以内需结构调整为导向的财政政策转
人民币国际化的路径选择研究
模糊聚类算法及其在入侵检测中的应
山东省民营医疗机构现状及发展对策
二元经济结构下我国劳动力流动的增
基于支持向量回归机的汇率预测
技术进步对劳动力流动的效应分析
山东省二级以上医院管理干部现况调
基于蜜罐的入侵检测技术研究
全球价值链分工的利益分配
供应链金融及其风险管理策略
我国医疗行业的政府管制研究
经济增长与高等教育发展规模的关系
基于嵌套证书的PKI技术分析与研究
天山北坡经济带城乡区域系统关联发
关于新型农村合作医疗政策执行过程
中国工商银行发展个人理财产品的策
网格数据收集和管理系统的设计与实
铜表面高精密去除电化学射流加工工
外商直接投资对我国居民收入差距的
基于改进决策树的网络入侵检测
螺栓连接结构松动失效机理研究
生产者服务业FDI对我国产业结构的影
基于日志代理的安全审计综合分析系
新型农村合作医疗参合农民受益水平
通货膨胀目标制在我国的可行性分析
无线Mesh网络性能测试平台测试模块
滨州市居民住院费用及其影响因素研
长江三角洲地区金融一体化研究
基于分布式哈希表的对等网络搜索模
德州市新型农村合作医疗制度建设效
金融状况指数的扩展及应用研究
P2P流媒体内容分发系统技术研究
德州市区中小学生部分常见病检出趋
人民币国际化与上海国际金融中心建
基于K叉树的应用层组播协议研究
山东省三级医院管理群体对临床营养
人民币国际化的条件和路径研究
k-ary n-cube网络中的死锁及负载均
Zr-MOF的制备、改性及其催化氧化研
中资银行海外并购对银行效率的影响
基于内网安全的文件访问控制研究
日照市无偿献血者招募管理策略的研
我国商业银行抵押贷款的定价研究
鉴别协议的分析研究
载体氧化铝的制备及在烷烃脱氢中的
私募基金内部治理结构研究
无线局域网安全协议测试平台的构建
中国医疗体制改革的供需分析
上海银行并购贷款业务风险管理研究
无线安全协议测试方法研究与系统设
我国人体组织、器官捐献中的合理补
 
超光滑表面论文 电致化学抛光论文 加工系统论文 超平滑电极论文 去除率论文
版权申明：目录由用户iyggll**提供，www.51papers.com仅收录目录，作者需要删除这篇论文目录请点击这里。
| 设为首页||加入收藏||站内搜索引擎||站点地图||在线购卡|
版权所有 教育论文网 Copyright(C) All Rights Reserved