金属纳米结构的制备和输运特性研究



金属纳米结构的制备和输运特性研究

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金属纳米结构的制备和输运特性研究

论文目录
摘要	第1-4 页
Abstract	第4-5 页
目录	第5-7 页
第一章绪论	第7-18 页
· 金属纳米结构的应用	第8-12 页
· 金属纳米结构的制备	第12-15 页
· 金属纳米结构的输运特性及热效应	第15-16 页
· 本文主要内容	第16-18 页
第二章高质量金属膜的制备	第18-33 页
· 引言	第18 页
· 金属镀膜方法的分类	第18-21 页
· 真空蒸发镀膜	第19 页
· 溅射镀膜	第19 页
· 薄膜质量的影响因素	第19-21 页
· 实验仪器设备简介	第21-22 页
· 高真空电流加热蒸发镀膜设备	第21 页
· 原子力显微镜简介	第21-22 页
· 高质量金、银薄膜的制备	第22-32 页
· 过渡层的选择	第22-23 页
· 银膜制备	第23-29 页
· 金膜的制备	第29-32 页
· 小结	第32-33 页
第三章纳米点接触结构的制备	第33-50 页
· 引言	第33 页
· 电子束曝光系统(electron beam lithography,EBL)	第33-36 页
· 实验仪器介绍	第36-38 页
· Raith150电子束曝光系统	第36 页
· FJLX500磁控溅射系统	第36-37 页
· 反应离子刻蚀系统	第37-38 页
· 坡莫合金薄膜质量分析	第38-42 页
· 坡莫合金制备及形貌分析	第38-41 页
· 成份分析	第41-42 页
· 坡莫合金纳米点接触的制备	第42-49 页
· 曝光剂量对曝光图形的影响	第42-43 页
· 利用Lift-off工艺制备纳米点接触结构	第43-46 页
· 采用刻蚀方法制备点接触结构	第46-49 页
· 小结	第49-50 页
第四章金属纳米结构输运特性研究	第50-60 页
· 引言	第50 页
· 检测方法及测试系统简介	第50-53 页
· 测试方法介绍	第50-52 页
· 金斯利(KEITHLEY)4200-SCS电学测试系统简介	第52-53 页
· 金属纳米结构的输运特性研究	第53-59 页
· 实验测试电路连接方法	第53-54 页
· 输运特性及机制研究	第54-59 页
· 小结	第59-60 页
第五章总结	第60-61 页
参考文献	第61-65 页
攻读硕士学位期间取得的学术成果	第65-66 页
致谢	第66-67 页

本篇论文共67页，点击这进入下载页面。

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