基于激光干涉的二维位移台测量研究
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基于激光干涉的二维位移台测量研究
论文目录
摘要
第1-5页
Abstract
第5页
第一章 绪论
第8-16页
1.1 课题背景及意义
第8-10页
1.2 国内外研究现状
第10-15页
1.2.1 位移测量技术研究现状
第10-11页
1.2.2 多自由度同时测量技术研究现状
第11-13页
1.2.3 垂直度测量技术研究现状
第13-15页
1.3 论文主要研究内容
第15-16页
第二章 原理和总体方案
第16-31页
2.1 总体设计
第16-17页
2.2 位移量测量原理
第17-24页
2.2.1 光的干涉基础理论
第18-20页
2.2.2 多倍程激光干涉仪测量原理
第20-21页
2.2.3 位移量测量的环境补偿
第21-22页
2.2.4 位移测量的阿贝补偿
第22-24页
2.3 激光测角原理及实现
第24-26页
2.3.1 激光测角原理
第24-25页
2.3.2 测角系统的实现
第25-26页
2.4 垂直度测量原理
第26-29页
2.4.1 二维位移台垂直度评定方法及测量原理
第26-28页
2.4.2 垂直度测量光路设计
第28-29页
2.5 不确定度分析
第29-31页
2.5.1 位移测量不确定度分析
第29-30页
2.5.2 角度测量不确定度分析
第30-31页
第三章 控制系统的电路设计
第31-38页
3.1 测量和控制系统电路总体设计
第31-33页
3.2 MP451 I/O板卡与分频模块
第33-35页
3.2.1 MP451模块介绍与分析
第33-35页
3.2.2 MP451-20的内部分频器的应用
第35页
3.3 MP422E数据采集模块
第35-38页
3.3.1 MP422E模块介绍与分析
第35-36页
3.3.2 MP422E开关量的应用
第36页
3.3.3 MP422E的D/A应用
第36-37页
3.3.4 MP422E的24位脉冲输出发生器的应用
第37-38页
第四章 测量系统软件设计
第38-43页
4.1 软件界面
第38页
4.2 位移量测量与显示模块
第38-39页
4.3 驱动控制模块
第39-40页
4.4 同步触发模块
第40页
4.5 测量参数设置模块
第40-41页
4.6 角度测量与显示模块
第41页
4.7 位移台运动量显示模块
第41-43页
第五章 实验与数据处理
第43-52页
5.1 系统性能评定实验
第43-47页
5.1.1 时间漂移实验
第43页
5.1.2 长度比对实验
第43-45页
5.1.3 角度比对实验
第45-47页
5.2 二维位移台测量方法及数据处理
第47-52页
5.2.1 安装、调整与测量方法
第47页
5.2.2 定位精度的数据处理
第47-48页
5.2.3 运动角度的数据处理
第48-49页
5.2.4 垂直度的数据处理
第49-52页
第六章 总结与展望
第52-53页
6.1 本论文工作总结
第52页
6.2 工作展望
第52-53页
致谢
第53-54页
参考文献
第51-56页
长春理工大学学位论文修改说明
第56页
本篇论文共
56
页,
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