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AlGaN/GaN HEMT功率器件测试及封装技术研究
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AlGaN/GaN HEMT功率器件测试及封装技术研究
论文目录
 
摘要第1-6页
Abstract第6-10页
第一章 绪论第10-16页
　　· GaN 器件国内外研究现状第10-14页
　　· 本论文的主要研究意义第14页
　　· 本文的主要研究内容第14-16页
第二章 AlGaN/GaN HEMT 功率器件介绍第16-30页
　　· AlGaN/GaN 材料介绍第16-21页
　　　　· AlGaN/GaN 材料衬底选择第16-17页
　　　　· AlGaN/GaN 材料自发极化和压电极化第17-18页
　　　　· AlGaN/GaN 异质结材料工作机理第18-19页
　　　　· AlGaN/GaN 异质结材料二维电子气(2DEG)第19-20页
　　　　· AlGaN/GaN 异质结材料结构和制备第20-21页
　　· AlGaN/GaN HEMT 器件的制造第21-23页
　　　　· AlGaN/GaN HEMT 器件制作关键工艺第21-22页
　　　　· 本文AlGaN/GaN HEMT 器件的制造工艺第22-23页
　　· AlGaN/GaN HEMT 器件在片测试分析第23-28页
　　　　· GaN 器件直流特性测试第23-24页
　　　　· 器件电流崩塌效应测试分析第24-27页
　　　　· 击穿电压测试第27-28页
　　· 本章小结第28-30页
第三章 微波测试基础第30-40页
　　· 散射参数(S 参数)基础第30-33页
　　　　· 传输线方程第30-32页
　　　　· S 参数的定义第32-33页
　　· S 参数的性质第33-35页
　　　　· S 参数特点第33-34页
　　　　· 传输参量(T 参数)与S 参数的相互关系第34-35页
　　· S 参数测试系统组成第35-38页
　　　　· S 参数测量系统第35-36页
　　　　· 矢量网络分析仪(VNA)第36页
　　　　· 射频电缆第36-37页
　　　　· 直流偏置第37-38页
　　· 本章小结第38-40页
第四章 AlGaN/GaN 器件精确测试第40-70页
　　· AlGaN/GaN 器件在片测试方案第40-44页
　　　　· 管芯S 参数测试和在片测试系统第40-41页
　　　　· 在片小信号测试第41-42页
　　　　· 负载牵引测试系统第42-44页
　　· AlGaN/GaN 分离器件测试第44-50页
　　　　· 测试内容第44-46页
　　　　· 测试夹具的设计第46-50页
　　· AlGaN/GaN 分离器件测试矢网校准第50-60页
　　　　· 矢网校准原理第50-52页
　　　　· SOLT 校准方法第52-54页
　　　　· TRL 校准及TRL 校准件设计第54-60页
　　· 同轴与TRL 校准测试结果第60-66页
　　　　· 同轴校准测试结果第60-61页
　　　　· TRL 校准测试结果第61-63页
　　　　· 测试结果比较与研究第63-64页
　　　　· 夹具去嵌入第64-66页
　　· 提取管壳寄生参数第66-68页
　　　　· 管壳S 参数实测第66-67页
　　　　· 管壳寄生参数提取第67-68页
　　· 本章小结第68-70页
第五章 本文总结第70-72页
致谢第72-74页
参考文献第74-78页
作者攻读硕士期间的研究成果和参加的科研项目第78-79 页

本篇论文共79页，点击这进入下载页面。
 
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