化学气相沉积制备炭/炭复合材料防氧化涂层
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化学气相沉积制备炭/炭复合材料防氧化涂层
论文目录
摘要
第1-5 页
Abstract
第5-7 页
本文的创新点及主要贡献
第7-11 页
第一章 绪论
第11-29 页
· C/C复合材料的发展
第11-13 页
· C/C复合材料的特点
第13 页
· C/C复合材料的应用
第13-14 页
· C/C复合材料的氧化过程及特点
第14-16 页
· C/C复合材料的氧化防护原理及方法
第16-22 页
· 基体改性技术
第16-17 页
· 表面涂层技术
第17-22 页
· 防氧化涂层的基本要求
第17-19 页
· 防氧化涂层的结构
第19-20 页
· C/C复合材料防氧化涂层的制备方法
第20-22 页
· 化学气相沉积法(CVD)
第22-27 页
· 化学气相沉积理论基础
第22-24 页
· 化学气相沉积所依据的反应类型
第22-23 页
· 化学气相沉积反应热力学
第23-24 页
· 化学气相沉积反应动力学及速率控制因素
第24 页
· 影响 CVD沉积涂层质量的因素
第24-26 页
· CVD法制备 C/C复合材料防氧化涂层
第26-27 页
· CVD法制备SiC防氧化涂层
第26 页
· CVD法制备MoSi_2防氧化涂层
第26-27 页
· 本文研究的目的和意义
第27 页
· 本文的主要研究内容
第27-29 页
第二章 实验方法
第29-35 页
· 引言
第29 页
· 实验所用的反应物
第29-31 页
· 制备SiC涂层的先驱气源
第29-30 页
· CVD实验中其它气体
第30-31 页
· 其它原材料
第31 页
· 实验设备
第31-33 页
· 实验方法
第33 页
· CVD法制备SiC涂层
第33 页
· 包埋法制备SiC涂层
第33 页
· 制备MoSi_2/SiC双相涂层
第33 页
· 涂层的表征
第33-34 页
· 本章小结
第34-35 页
第三章 CVD-SiC微观形貌
第35-45 页
· 引言
第35 页
· Ar流量对反应室内温度场、流场的影响
第35-37 页
· 反应室内浓度的分布
第37-38 页
· 实验
第38-39 页
· 沉积位置对CVD-SiC形貌的影响
第39-44 页
· 实验一(Q_(Ar)=0ml/min)制备SiC涂层生长形貌观察
第40-41 页
· 实验二(Q_(Ar)=50ml/min)制备SiC涂层生长形貌观察
第41-42 页
· 实验三(Q_(Ar)=150ml/min)制备SiC涂层生长形貌观察
第42-43 页
· Ar流量对SiC涂层生长形貌的影响
第43-44 页
· 本章小结
第44-45 页
第四章 二步法制备C/C复合材料SiC涂层
第45-53 页
· 引言
第45 页
· 实验
第45-46 页
· 涂层的微观结构
第46-49 页
· 涂层的防氧化性能和氧化机理
第49-52 页
· 本章小结
第52-53 页
第五章 化学气相法制备MoSi_2/SiC涂层
第53-66 页
· 引言
第53-54 页
· 实验
第54-55 页
· 涂层的微观结构
第55-56 页
· 涂层的防氧化性能与氧化机理
第56-59 页
· 工艺优化制备MoSi_2/SiC双相涂层
第59-64 页
· 工艺优化制备涂层的微观结构
第59-61 页
· 工艺优化方案一制备涂层的微观结构
第59-60 页
· 工艺优化方案二制备涂层的微观结构
第60-61 页
· 工艺优化制备涂层的防氧化性能与氧化机理
第61-63 页
· 双相涂层试样氧化后表面晶相分析
第63-64 页
· 本章小结
第64-66 页
结论
第66-68 页
参考文献
第68-73 页
攻读硕士期间发表的学术论文
第73-74 页
致谢
第74-75 页
本篇论文共
75
页,
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。
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