微纳双重结构特征参数检测方法研究 |
论文目录 | | | 摘要 | 第1-5页 | | ABSTRACT | 第5-8页 | | 第1章 绪论 | 第8-15页 | | · 课题研究背景及意义 | 第8-10页 | | · 微表面参数测量研究现状 | 第10-12页 | | · 测量微表面参数方法 | 第12-14页 | | · 本论文的研究内容 | 第14-15页 | | 第2章 激光干涉制备微纳双重结构原理 | 第15-20页 | | · 引言 | 第15页 | | · 激光干涉理论 | 第15-18页 | | · 激光干涉光刻技术 | 第18-19页 | | · 小结 | 第19-20页 | | 第3章 激光干涉微纳双重结构模拟及图像采集 | 第20-35页 | | · 引言 | 第20页 | | · 激光干涉模拟 | 第20-29页 | | · 三光束干涉模拟 | 第20-21页 | | · 四光束干涉模拟 | 第21-24页 | | · 六光束干涉模拟 | 第24-29页 | | · 激光干涉图像采集 | 第29-34页 | | · 三光束干涉图像采集 | 第30-31页 | | · 四光束干涉图像采集 | 第31-32页 | | · 六光束干涉图像采集 | 第32-34页 | | · 小结 | 第34-35页 | | 第4章 微纳双重结构参数检测方法及结果分析 | 第35-53页 | | · 引言 | 第35-36页 | | · 提取CCD采集干涉图调制方向剖面曲线的方法进行参数测量 | 第36-43页 | | · CCD采集干涉图调制周期提取结果分析 | 第40-41页 | | · 调制周期提取结果误差分析 | 第41-43页 | | · 采用两种方法对制备双重结构样品图进行参数测量 | 第43-51页 | | · 提取制备样品图像调制方向剖面曲线的方法进行参数测量 | 第44-46页 | | · 对制备样品图像进行分割处理及收缩运算的方法来测量参数 | 第46-51页 | | · 小结 | 第51-53页 | | 第5章 总结与展望 | 第53-54页 | | 参考文献 | 第54-56页 | | 致谢 | 第56
页 |
|
|
|
| |
