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PECVD法制备a-C：F：N薄膜的结构和稳定性研究
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PECVD法制备a-C：F：N薄膜的结构和稳定性研究
论文目录
 
摘要第1-4 页
ABSTRACT第4-8 页
第一章 绪论第8-19 页
　　1．1 引言第8-11 页
　　1．2 a-C:F薄膜研究现状及存在问题第11-18 页
　　1．3 本论文的选题意义和主要工作第18-19 页
第二章 薄膜的制备及结构、性能检测第19-28 页
　　2．1 引言第19 页
　　2．2 PECVD实验装置及实验过程第19-23 页
　　　　2．2．1 实验装置第19-21 页
　　　　2．2．2 实验过程第21-23 页
　　2．3 薄膜表面形貌分析第23 页
　　　　2．3．1 薄膜的原子力显微镜(AFM)分析第23 页
　　2．4 薄膜组分及化学键结构分析第23-27 页
　　　　2．4．1 傅立叶变换红外吸收光谱(FTIR)分析第23-24 页
　　　　2．4．2 拉曼(Raman)分析第24 页
　　　　2．4．3 紫外-可见光谱(UV-VIS)分析第24-25 页
　　　　2．4．4 椭偏仪测试第25-27 页
　　2．5 本章小结第27-28 页
第三章 a-C:F:N薄膜结构和稳定性分析第28-45 页
　　3．1 a-C:F薄膜的表面形貌和红外分析第28-31 页
　　3．2 a-C:F:N薄膜表面形貌第31-34 页
　　　　3．2．1 沉积温度对薄膜表面形貌的影响第32 页
　　　　3．2．2 退火温度对薄膜表面形貌的影响第32-33 页
　　　　3．2．3 源气体流量比对薄膜表面形貌的影响第33-34 页
　　3．3 a-C:F:N薄膜沉积速率第34-36 页
　　　　3．3．1 沉积温度对薄膜沉积速率的影响第34 页
　　　　3．3．2 源气体流量比对薄膜沉积速率的影响第34-36 页
　　3．4 退火后薄膜厚度的变化第36-37 页
　　3．5 a-C:F:N薄膜的FTIR分析第37-40 页
　　　　3．5．1 掺氮前后a-C:F:N薄膜红外结构的变化第38-39 页
　　　　3．5．2 流量比对a-C:F:N薄膜红外结构的影响第39 页
　　　　3．5．3 退火对a-C:F:N薄膜红外结构的影响第39-40 页
　　3．6 薄膜的Raman分析第40-44 页
　　3．7 本章小节第44-45 页
第四章 a-C:F:N薄膜的光学带隙分析第45-53 页
　　4．1 引言第45-48 页
　　4．2 a-C:F:N薄膜的光学带隙第48-51 页
　　　　4．2．1 沉积温度对光学带隙的影响第49-50 页
　　　　4．2．2 流量比对光学带隙的影响第50-51 页
　　4．3 掺氮前后a-C:F:N薄膜透射谱的变化第51 页
　　4．4 光学带隙与热稳定性的关系第51-52 页
　　4．5 本章小结第52-53 页
第五章 主要结论及有待进一步完成的工作第53-54 页
　　5．1 本论文的主要结论第53 页
　　5．2 有待进一步完成的工作第53-54 页
参考文献第54-61 页
致谢第61-62 页
攻读学位期间发表的论文第62 页

本篇论文共62页，点击这进入下载页面。
 
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