RF-溅射制备氧化钒薄膜及其电致开关特性研究



RF-溅射制备氧化钒薄膜及其电致开关特性研究

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RF-溅射制备氧化钒薄膜及其电致开关特性研究

论文目录
摘要	第1-6页
Abstract	第6-10页
第一章绪论	第10-21页
· 引言	第10页
· 新型非挥发性存储器的比较	第10-11页
· 非挥发性阻变存储器	第11-13页
· 非挥发性阻变存储器的材料体系	第12-13页
· 非挥发性阻变存储器的研究现状	第13页
· 氧化钒薄膜的制备及其应用	第13-18页
· 氧化钒薄膜的结构及性质	第13-16页
· 氧化钒薄膜的制备方法	第16-18页
· 氧化钒薄膜的应用	第18页
· 氧化钒薄膜的研究现状及应用于 RRAM 存在的问题	第18-20页
· 本论文的主要研究内容及意义	第20-21页
第二章氧化钒基阻变存储器单元制备及表征分析方法	第21-28页
· 基于氧化钒的阻变存储器件结构设计及其制备过程	第21-23页
· 基于氧化钒薄膜的阻变存储器单元的结构设计	第21-22页
· 阻变存储单元的制备过程	第22-23页
· 薄膜制备的实验平台	第23-24页
· 多功能离子束与磁控联合溅射系统	第23-24页
· 退火设备	第24页
· 阻变器件功能层材料（VOx）的表征分析	第24-28页
· AFM 形貌分析	第24-25页
· XRD 物相分析	第25页
· SEM 器件结构分析	第25-26页
· XPS 分析	第26页
· 厚度分析	第26-27页
· 电致开关特性测试	第27-28页
第三章氧化钒薄膜的制备及材料性能分析	第28-43页
· 氧化钒薄膜沉积的工艺参数	第28-30页
· 不同工艺下氧化钒薄膜的测试分析	第30-42页
· 薄膜沉积速率及形貌分析	第30-37页
· 薄膜成分分析	第37-42页
· 本章小结	第42-43页
第四章氧化钒薄膜的电致开关特性分析	第43-54页
· 现存的阻变型存储器的存储机理	第43-44页
· 不同薄膜制备工艺对氧化钒薄膜的电致开关特性的影响	第44-46页
· 下电极材料对氧化钒薄膜阻变特性的影响	第46-48页
· 薄膜厚度对氧化钒薄膜阻变性能的影响	第48-52页
· 氧化钒薄膜的阻变机理的探索	第52-53页
· 本章小结	第53-54页
第五章总结与展望	第54-56页
参考文献	第56-61页
发表论文和科研情况说明	第61-62页
致谢	第62-63页

本篇论文共63页，点击这进入下载页面。

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