HCD离子镀生产过程自动控制系统的设计与开发



HCD离子镀生产过程自动控制系统的设计与开发

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HCD离子镀生产过程自动控制系统的设计与开发

论文目录
摘要	第1-4页
ABSTRACT	第4-7页
第一章绪论	第7-11页
· 课题背景与意义	第7-8页
· 离子镀国内外研究现状	第8-9页
· 研究内容及论文结构	第9-11页
第二章 HCD离子镀工艺分析	第11-17页
· 离子镀工作原理、工艺及主要配置	第11-13页
· 空心阴极(HCD)离子镀工作原理	第11-12页
· 空心阴极离子镀膜工艺及设备主要配置	第12-13页
· 影响镀层性能的主要参数	第13-16页
· 小结	第16-17页
第三章基体温度控制	第17-31页
· 温控对象的数学模型分析	第17-20页
· 使基体温度升高的因素	第17-19页
· 使基体温度降低的因素	第19页
· 基体沉积温度变化的计算	第19-20页
· 控制方案	第20页
· 模糊自校正PID控制策略	第20-28页
· 模糊控制原理	第21页
· 模糊自校正PID控制器设计	第21-28页
· 温度信号取样	第28-29页
· 工艺运行曲线	第29-30页
· 小结	第30-31页
第四章离子镀氮气和氩气流量控制	第31-37页
· 比值因子计算	第31-32页
· 控制方法及控制原理	第32-33页
· 控制方法	第32-33页
· 控制系统原理	第33页
· 控制算法	第33-34页
· 数字PI调节器	第33-34页
4.3.2数字PID调节器	第34页
· N_2.Ar控制系统流程图	第34-35页
· 系统运行曲线	第35-36页
· 小结	第36-37页
第五章离子镀真空控制	第37-45页
· 真空室真空度的计算	第37-38页
· 真空系统	第38-39页
· 控制系统要求	第38页
· 真空仪表及真空度测量	第38-39页
· 抽真空系统—真空机组	第39页
· 控制方法	第39-41页
· 变频调速原理	第40页
· MM430和MM440系列变频器	第40-41页
· 控制算法	第41-43页
· 影响炉子真空度的主要参数	第41-42页
· 增量式PID控制算法及控制流程	第42-43页
· 工艺运行曲线	第43-44页
· 小结	第44-45页
第六章系统软硬件设计与实现	第45-56页
· 系统需求分析	第45页
· 系统总体结构	第45-48页
· 系统网络结构	第45-46页
· PLC控制系统结构	第46-48页
· 系统中断模块设计	第48-51页
· 循环中断组织块	第48-50页
· 硬件中断	第50-51页
· 系统软件开发与实现	第51-54页
· 系统运行框图及工艺运行效果	第54-55页
· 小结	第55-56页
第七章结论及展望	第56-58页
· 工作总结	第56-57页
· 展望	第57-58页
参考文献	第58-62页
致谢	第62-63页
发表学术论文	第63 页

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