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EACVD金刚石膜沉积设备的小型化技术研究
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EACVD金刚石膜沉积设备的小型化技术研究
论文目录
 
摘要第1-5 页
ABSTRACT第5-13 页
第一章 绪论第13-20 页
　　· CVD 金刚石膜制备技术的发展及应用第13-16 页
　　　　· CVD 金刚石膜制备技术的发展第13-15 页
　　　　· CVD 金刚石膜的制备方法第15-16 页
　　· EACVD 金刚石膜生长设备的研究现状第16-18 页
　　　　· EACVD 金刚石膜生长设备的构成第17-18 页
　　　　· EACVD 金刚石膜生长设备的研究现状第18 页
　　· 本文的研究背景和主要工作第18-20 页
第二章 小型化设备的主体系统设计第20-37 页
　　· 主体系统的总体设计方案第21-24 页
　　　　· 设备的小型化实现方案第21 页
　　　　· 小型化设备的基本参数设计第21-24 页
　　· 真空系统的设计第24-28 页
　　　　· 真空反应室炉体结构设计第24-27 页
　　　　· 真空反应室炉体厚度设计第27-28 页
　　· 电极系统的设计第28-31 页
　　· 衬底工作台的设计第31-34 页
　　　　· 衬底工作台的设计要求第31-32 页
　　　　· 摆动衬底工作台的实现第32-34 页
　　· 进排气系统的设计第34-36 页
　　· 本章小结第36-37 页
第三章 控制系统的硬件设计第37-53 页
　　· 控制系统的总体方案设计第37-39 页
　　　　· 工艺参数对制备金刚石膜的影响第37-38 页
　　　　· 控制系统硬件结构第38-39 页
　　· 信号检测系统的实现第39-47 页
　　　　· 热丝与衬底温度的检测第40-43 页
　　　　· 反应气体浓度的检测第43-44 页
　　　　· 真空室气压的检测第44-45 页
　　　　· 热丝电流与偏流的检测第45-47 页
　　· 控制与执行系统的实现第47-52 页
　　　　· 控制主机的选择第47-50 页
　　　　· 调压模块的实现第50-52 页
　　· 本章小结第52-53 页
第四章 摆动衬底温度场仿真第53-62 页
　　· 衬底摆动参数的优化第53-54 页
　　· 摆动参数对衬底温度场的影响仿真第54-59 页
　　· 静止、转动与摆动状态下温度场仿真与比较第59-61 页
　　· 本章小结第61-62 页
第五章 基于SIMULINK 与NCD 模块的衬底温度控制研究与仿真第62-92 页
　　· 衬底温度控制方案的设计第62-65 页
　　　　· 控制算法设计第62-64 页
　　　　· 衬底温度控制模型第64-65 页
　　· 衬底温度PID 控制器的设计第65-71 页
　　　　· PID 控制器参数的整定第65-67 页
　　　　· 衬底温度PID 控制器仿真与优化第67-71 页
　　· 衬底温度模糊控制器的设计第71-78 页
　　　　· 模糊控制器的工作原理第71-72 页
　　　　· 模糊控制器的设计实现第72-76 页
　　　　· 模糊控制器的仿真与优化第76-78 页
　　· 衬底温度模糊PID 复合控制器设计与仿真第78-85 页
　　　　· 模糊PID 混合控制器的设计与仿真第78-80 页
　　　　· 模糊PID 自整定控制器的设计与仿真第80-85 页
　　· 控制器鲁棒性和抗干扰性能分析第85-91 页
　　　　· 控制器抗干扰性能仿真第85-87 页
　　　　· 控制器的鲁棒性仿真第87-90 页
　　　　· 仿真结果分析第90-91 页
　　· 本章小结第91-92 页
第六章 总结与展望第92-94 页
　　· 总结第92-93 页
　　· 展望第93-94 页
参考文献第94-97 页
致谢第97-98 页
作者在攻读硕士学位期间发表的论文第98 页

本篇论文共98页，点击这进入下载页面。
 
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