教育论文网

单晶硅反应激波刻蚀试验研究
硕士博士毕业论文站内搜索    
分类：教育论文网→工业技术论文→金属学与金属工艺论文→特种加工机床及其加工论文→超声波加工机床及其加工论文
单晶硅反应激波刻蚀试验研究
论文目录
 
摘要第1-5 页
ABSTRACT第5-11 页
第一章 绪论第11-22 页
　　· 单晶硅材料特性及其用途第11-12 页
　　· 单晶硅材料加工发展现状及展望第12-15 页
　　　　· 体微加工技术第12-13 页
　　　　· 表面微加工技术第13-14 页
　　　　· LIGA 和准LIGA 技术第14-15 页
　　　　· 微细电火花加工技术第15 页
　　· 激波产生方式及在加工中应用第15-18 页
　　· 课题研究意义及主要研究内容第18-22 页
第二章 反应激波刻蚀加工机理第22-35 页
　　· 单晶硅各向异性腐蚀机理第22-23 页
　　· 反应激波刻蚀的动力学机理第23-27 页
　　　　· 激波聚焦方式第23-24 页
　　　　· 声场基本理论第24-25 页
　　　　· 透镜式单元激波发生器声场理论第25-27 页
　　· 单晶硅反应激波刻蚀加工中的声化学反应机理第27-35 页
　　　　· 激波效应的三种机制第27-28 页
　　　　· 声空化原理第28-29 页
　　　　· 声空化形成条件第29-31 页
　　　　· 影响声化学产率的物理参数第31-35 页
第三章 反应激波刻蚀试验系统第35-45 页
　　· 反应激波刻蚀试验系统介绍第35-36 页
　　· 压电陶瓷激波发生器激励电源概述第36-38 页
　　　　· 压电陶瓷激波发生器激励电源的技术指标第36 页
　　　　· 激励电源输入输出功率测量第36-38 页
　　· 压电陶瓷激波发生器系统概述第38-39 页
　　· 压电陶瓷激波发生器系统测试第39-45 页
　　　　· 声透镜聚焦的焦点位置第39-41 页
　　　　· 透镜式单元激波发生器聚焦区域大小的确定第41-42 页
　　　　· 透镜式单元激波发生器设计频率对焦域形态和声压的影响第42-45 页
第四章 反应激波刻蚀试验研究第45-57 页
　　· 试验前准备第45-49 页
　　　　· 试验材料的选择第45-46 页
　　　　· 各向异性腐蚀剂的选择第46 页
　　　　· 试件的测量第46-48 页
　　　　· 单晶硅反应激波刻蚀掩蔽层的选择第48-49 页
　　· 试验过程第49-52 页
　　· 试验结果分析第52-55 页
　　　　· 腐蚀液浓度、温度对刻蚀速率的影响第52 页
　　　　· 激波电源不同工作参数对刻蚀速率的影响第52 页
　　　　· 激波刻蚀对加工精度和表面质量的影响第52-54 页
　　　　· 气泡对刻蚀加工表面粗糙度的影响第54-55 页
　　　　· 激波对反应刻蚀加工效率的影响第55 页
　　· 结论第55-57 页
第五章 本课题研究总结与展望第57-59 页
　　· 论文完成的主要研究工作第57 页
　　· 后续研究工作展望第57-59 页
参考文献第59-62 页
致谢第62-63 页
攻读硕士期间发表的学术论文第63 页

本篇论文共63页，点击这进入下载页面。
 
更多论文
单晶硅反应激波刻蚀试验研究
磁性纳米颗粒介导PTEN基因转染对耐
法人著作人身权若干问题研究
基于LabVIEW的切削加工测试与分析系
建设公共服务型政府的探索--以青岛
PCNA和P16蛋白与鼻咽癌放疗敏感性及
法人侵权行为能力研究
热管式金刚石磨头的研制
城市贫困夹心层社会救助存在的问题
兔肝VX2瘤血供程度与高强度聚焦超声
片面共犯争议问题研究
农村宅基地使用权法律制度研究
稀土改性钎料钎焊立方氮化硼砂轮的
着手实行问题研究
ETDRS与国际标准视力表在弱视儿童视
浅析“三言”中因果报应故事的类型
遗传性非综合征型耳聋基因诊断体系
论财产保险利益的主体归属
茶多糖铁复合物的制备及其部分药效
叠层模板电沉积直接制造金属零件的
共同侵权行为制度若干问题研究
对虾白斑综合症病毒（WSSV）VP36A的
PTEN、P-Akt和NF-κB蛋白在中耳胆脂
微小孔电解加工若干关键技术的研究
法人人格权及其民法保护方法问题研
平行分度凸轮机构的轮廓设计和动力
置氢钛合金TC4切削加工仿真研究
风险管理在我国民航安全管理上的应
论保险人优势地位及其法律规制
鼻声反射在鼻腔通气障碍性疾病中的
机动车第三者责任强制保险若干法律
基于环渤海视角的烟台海港物流发展
慢性鼻窦炎、鼻息肉鼻内镜术后自行
超声电解复合微细加工技术基础研究
PLC在火电输煤程控系统中的应用研究
论译者的主体性
羟基磷灰石纳米载体经完整圆窗膜渗
大型整体叶轮数控电解加工的阴极设
阴极保护用数控高频开关恒电位仪的
玻璃体腔内注射Avastin治疗特发性C
中间省略登记问题研究
开缝衬套冷挤压强化孔疲劳寿命仿真
东大公司环氧丙烷技术扩建项目可行
激光治疗重度NPDR和早期PDR的临床观
《企业会计准则—企业合并》若干问
喷射液束电解辅助激光加工的基础研
不同掩蔽方式治疗耳鸣的疗效观察
我国制造业上市公司多角化经营行为
青岛海克斯康JIT采购模式研究
高频感应钎焊金刚石砂轮磨削硬质合
不同后房型人工晶体位置的超声生物
邹城玻纤公司无碱玻璃纤维池窑拉丝
我国注册会计师审计法律责任问题研
MMP-2与TIMP-2在豚鼠近视眼脉络膜中
 
单晶硅论文 脉冲超声波论文 湿法腐蚀论文 蚀除率论文
版权申明：目录由用户cash05**提供，www.51papers.com仅收录目录，作者需要删除这篇论文目录请点击这里。
| 设为首页||加入收藏||站内搜索引擎||站点地图||在线购卡|
版权所有 教育论文网 Copyright(C) All Rights Reserved