微波PCVD法高品质透明金刚石膜的制备和性质研究



微波PCVD法高品质透明金刚石膜的制备和性质研究

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微波PCVD法高品质透明金刚石膜的制备和性质研究

论文目录
第一章绪论	第1-18 页
· 金刚石的晶体结构	第7-8 页
· 金刚石膜的性质及应用	第8-10 页
· 天然金刚石-高压合成金刚石-气相沉积金刚石	第10-11 页
· 金刚石气相沉积方法介绍	第11-15 页
· 本文的选题及主要内容	第15-18 页
第二章实验设备和实验方法	第18-25 页
· 微波 PCVD 方法制备金刚石膜介绍	第18-19 页
· 微波 PCVD 沉积系统简介	第19-22 页
· 微波 PCVD 法制备金刚石膜的工艺	第22-25 页
第三章微波PCVD 法高品质金刚石膜的生长特性研究	第25-41 页
· 引言	第25-26 页
· 碳源浓度对金刚石膜特性的影响	第26-31 页
· 微波功率对金刚石膜特性的影响	第31-36 页
· 氧气对金刚石膜特性的影响	第36-39 页
· 本章小结	第39-41 页
第四章光学级透明金刚石膜的性质研究	第41-52 页
· 光学级透明金刚石膜简介	第41-43 页
· 金刚石膜光透过率理论极限值的计算	第43-46 页
· 透明金刚石膜红外透过率的研究	第46-49 页
· 透明金刚石膜紫外-可见光透过率的研究	第49-50 页
· 透明金刚石的其它性质	第50-52 页
第五章透明金刚石膜中杂质情况的研究	第52-60 页
· X 射线光电子能谱(XPS)测试	第52-57 页
· 顺磁共振测试	第57-60 页
第六章总结	第60-62 页
参考文献	第62-65 页
摘要	第65-68 页
Abstract	第68-72 页
致谢	第72-73 页
导师及作者简介	第73 页

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