变面积差分电容式微机械加速度传感器的建模仿真



变面积差分电容式微机械加速度传感器的建模仿真

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变面积差分电容式微机械加速度传感器的建模仿真

论文目录
提要	第1-7 页
第一章绪论	第7-20 页
· 引言	第7-8 页
· 微加速度传感器的分类	第8-12 页
· 压阻式微加速度传感器	第9-10 页
· 电容式加速度传感器	第10-11 页
· 谐振式微加速度传感器	第11-12 页
· 电容式微加速度计的研究概况	第12-17 页
· 微加速度传感器的研究历程	第12-14 页
· 电容式微加速度传感器的研究实例	第14-17 页
· 本论文的研究意义	第17-18 页
· 本论文的研究内容	第18-20 页
第二章电容式加速度计的设计方案和理论基础	第20-38 页
· 加速度计的力学原理	第20-22 页
· 加速度	第20-21 页
· 牛顿定律与达朗贝尔原理	第21-22 页
· 变面积差分电容式微加速计的工作原理	第22-24 页
· 平板电容的变面积理论	第22-23 页
· 差分电容式微加速度计的工作原理	第23-24 页
· 微速度计的结构设计	第24-31 页
· 弹簧梁的设计和敏感新片建模	第24-26 页
· 假设和简化	第26-27 页
· 可动质量块的位移	第27-29 页
· 电容变化与加速度的关系	第29-30 页
· 折叠梁的失效分析	第30-31 页
· 主要性能指标	第31-35 页
· 固有频率	第31 页
· 量程	第31-32 页
· 灵敏度	第32-33 页
· 阻尼	第33-35 页
· 结构参数的理论优化	第35-38 页
第三章微加速度计的有限元仿真和优化	第38-59 页
· 有限元法与 ANSYS 软件	第38-41 页
· 折叠梁结构静力分析	第41-48 页
· 结构静力学有限元分析原理	第41 页
· 折叠梁的结构静力分析	第41-44 页
· 加速度计的结构静力分析	第44-48 页
· 微加速度计的结构动力学分析	第48-57 页
· 动力学有限元分析原理	第48-49 页
· 模态分析理论概述	第49-50 页
· 微加速度计的模态分析	第50-56 页
· 微加速度计的谐响应分析	第56-57 页
· 微加速度计的结构优化	第57-59 页
第四章结论	第59-62 页
· 全文总结	第59-61 页
· 工作展望	第61-62 页
参考文献	第62-66 页
摘要	第66-68 页
Abstract	第68-70 页
致谢	第70 页

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