PBII制备类金刚石膜及其性能研究



PBII制备类金刚石膜及其性能研究

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PBII制备类金刚石膜及其性能研究

论文目录
摘要	第1-4页
Abstract	第4-8页
第1章绪论	第8-23页
· 引言	第8页
· 表面技术概述	第8-10页
· 表面技术的定义	第8-9页
· 表面技术的分类	第9页
· 薄膜技术的介绍	第9-10页
· 类金刚石薄膜概述	第10-14页
· 类金刚石薄膜的结构	第10-11页
· 类金刚石薄膜的性质	第11-13页
· 类金刚石薄膜的应用	第13-14页
· 类金刚石薄膜的制备方法	第14-16页
· 类金刚石薄膜的摩擦性能	第16-21页
· 类金刚石薄膜的摩擦机理	第16-17页
· 磨损机制概述	第17-18页
· 影响类金刚石薄摩擦磨损的因素	第18页
· 类金刚石薄膜的研究现状	第18-21页
· 本文研究内容与目的	第21-23页
第2章试验材料及方法	第23-33页
· 实验设备及样品准备	第23-24页
· 实验设备	第23-24页
· 样品准备	第24页
· 研究方案及制备工艺	第24-28页
· 单层膜的制备工艺方案	第24-26页
· 多层膜的制备工艺方案	第26页
· Cr 过渡层的制备工艺方案	第26-27页
· Cr/DLC 薄膜的制备工艺方案	第27-28页
· 分析方法	第28-33页
· 薄膜厚度测试	第28页
· 薄膜承载能力分析	第28-29页
· 薄膜脆性测试	第29页
· 试样尺寸测量	第29页
· 薄膜与基体结合力分析	第29-30页
· 薄膜耐磨性能评价	第30-31页
· 薄膜结构分析	第31-32页
· 薄膜物相分析	第32-33页
第3章单层类金刚石薄膜的制备及性能研究	第33-41页
· 引言	第33页
· 工艺参数对单层 DLC 薄膜性能的影响	第33-37页
· 工艺参数对单层 DLC 薄膜硬度的影响	第33-36页
· 工艺参数对单层 DLC 薄膜脆性的影响	第36-37页
· 工艺参数对单层 DLC 薄膜结构的影响	第37-40页
· 本章小结	第40-41页
第4章 W/DLC 多层膜的制备及性能研究	第41-52页
· 引言	第41-42页
· 工艺参数对薄膜性能的影响	第42-50页
· 工艺参数对 W/DLC 多层膜硬度的影响	第42-43页
· 工艺参数对 W/DLC 多层膜脆性的影响	第43-45页
· 工艺参数对 W/DLC 多层膜与基体结合力的影响	第45-50页
· W/DLC 多层膜组织与结构分析	第50-51页
· 本章小结	第51-52页
第5章 Cr 过渡层的制备及性能研究	第52-58页
· 引言	第52页
· 工艺参数对 Cr 过渡层薄膜性能的影响	第52-55页
· 工艺参数对 Cr 过渡层薄膜硬度的影响	第52-54页
· 工艺参数对 Cr 过渡层薄膜结合力的影响	第54-55页
· 工艺参数对 Cr 过渡层薄膜组织结构的影响	第55-57页
· 本章小结	第57-58页
第6章 Cr/DLC 薄膜的制备及性能研究	第58-74页
· 引言	第58页
· 工艺参数对试样薄膜沉积前后的尺寸影响	第58-59页
· 工艺参数对 Cr/DLC 薄膜性能的影响	第59-70页
· 工艺参数对 Cr/DLC 薄膜纳米硬度的影响	第59-60页
· 工艺参数对 Cr/DLC 薄膜与基体结合力的影响	第60-63页
· 工艺参数对 Cr/DLC 薄膜摩擦磨损性能的影响	第63-70页
· 工艺参数对 Cr/DLC 薄膜组织结构的影响	第70-73页
· 本章小结	第73-74页
结论	第74-75页
参考文献	第75-80页
致谢	第80页

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