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用于衍射空间成像的连续变空频干涉光刻技术

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用于衍射空间成像的连续变空频干涉光刻技术
论文目录
 
一、 引言第11-21 页
  · 数字像素全息系统的回顾第13-19 页
    · 分束镜-反射镜分光系统第13-17 页
    · 光栅分光系统第17-19 页
  · 本文主要研究的内容和创新点第19-21 页
二、 连续变空频数字像素全息原理第21-34 页
  · 数字像素全息记录原理第21 页
  · 数字像素全息衍射特性第21-24 页
  · 数字像素全息空间成像的设计方案第24-28 页
  · 连续变频干涉光刻系统第28-32 页
    · 系统的光学结构第28-30 页
    · 点光栅条纹结构第30-32 页
  · 系统软件介绍第32-34 页
三、 数字像素全息的光刻实验第34-46 页
  · 聚焦面的调整第34 页
  · 数据处理第34-36 页
  · 数据文件的定义和读写第36-39 页
  · 连续变空频数字像素全息的制作第39-42 页
    · 连续变空频图形的再现第39 页
    · 连续变空频取向图形的再现第39-40 页
    · 复合式图形的再现第40-42 页
  · 影响记录品质因素的分析第42-45 页
  · 记录材料第45-46 页
四、 结论与展望第46-49 页
  · 结论及进一步研究方向第46-48 页
  · 应用前景第48-49 页
附件A1: 一种非对称槽型光栅的激光直写的工艺研究第49-61 页
  · 二元光学器件制作工艺第49-51 页
  · 色分离光栅的设计第51-52 页
  · 光栅的衍射效率第52-54 页
  · 灰度狭缝扫描系统第54-55 页
    · 双远心光路第54 页
    · 系统的光路结构第54-55 页
  · 色分离光栅的制作第55-58 页
    · 灰度狭缝的制作第55-57 页
    · 实验结果及误差分析第57-58 页
  · 结论第58-59 页
  · 进一步研究方向第59-61 页
参考文献第61-65 页
攻读硕士学位期间公开发表的论文第65-66 页
致谢第66 页

本篇论文共66页,点击这进入下载页面
 
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