磁化射频等离子体放电实验研究



磁化射频等离子体放电实验研究

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磁化射频等离子体放电实验研究

论文目录
中文摘要	第1-6页
ABSTRACT	第6-10页
第一章绪论	第10-27页
· 磁化等离子体源的发展	第10-11页
· HWP 概述	第11-13页
· HWP 源	第13-18页
· 当前一些螺旋波装置参数比较	第13-15页
· 国内外一些螺旋波装置及其应用	第15-18页
· 壁清洗技术与 HWP	第18-19页
· 强磁场螺旋波放电装置基本设计参数	第19-20页
· 工作的简要回顾	第20-22页
参考文献	第22-27页
第二章理论部分	第27-38页
· 等离子体概述	第27-29页
· 磁场对等离子体的影响	第29-37页
· 抗磁电流	第30-32页
· 弱电离磁化等离子体中粒子的输运	第32-34页
· 弱电离磁化等离子体的电导率	第34-37页
参考文献	第37-38页
第三章实验装置及诊断系统	第38-62页
· 实验装置子系统	第38页
· 实验装置结构	第38-40页
· RF 功率输入系统	第40-43页
· 射频天线的选择和优化	第43-46页
· 天线类型选取	第43-44页
· 天线尺寸计算	第44-45页
· 天线结构改进	第45-46页
· 磁场发生系统	第46-53页
· 磁场系统设计规格	第46-47页
· 磁场线圈水冷系统	第47页
· 磁场位型的模拟及测量	第47-49页
· 螺旋波放电所需轴向磁场理论计算	第49-53页
· 气体流量控制及真空系统	第53-54页
· 气体流量控制系统	第53-54页
· 真空系统	第54页
· 等离子体诊断系统	第54-60页
· 朗缪尔探针	第54-58页
· 发射光谱	第58-60页
参考文献	第60-62页
第四章磁化 RF 等离子体放电诊断	第62-92页
· 装置放电的 3 种模式	第62-65页
· ICP 模式放电研究	第65-78页
· 功率对不同径向位置处等离子体的影响	第65-68页
· 磁场对不同径向位置处等离子体的影响	第68-69页
· ICP 模式下靶材区域等离子体空间分布定性测量	第69-72页
· ICP 放电模式下利用可见光谱研究不同天线结构对放电的影响	第72-78页
· HWP 模式放电研究	第78-86页
· HWP 放电模式下发射光谱研究	第79-83页
· HWP 放电模式下朗缪尔探针诊断研究	第83-86页
· 螺旋波装置对石墨壁材料清洗研究	第86-89页
参考文献	第89-92页
第五章总结和展望	第92-94页
攻读硕士学位期间公开发表的论文及科研成果	第94-95页
致谢	第95-97 页

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