高精度微光学器件激光直写光刻系统研究



高精度微光学器件激光直写光刻系统研究

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高精度微光学器件激光直写光刻系统研究

论文目录
摘要	第1-5页
Abstract	第5-8页
第一章绪论	第8-24页
· 微光机电系统的历史概况	第8-9页
· 微光机电系统的组成要素	第9页
· 微光机电技术(MOEMS)在光通信领域的典型应用	第9-11页
· 微光机电系统的制造工艺	第11-15页
· 掩模成像光刻制造技术	第11-14页
· 无掩模光刻技术	第14-15页
· 国内外激光直写系统发展现状	第15-18页
· 交流伺服系统概述	第18-22页
· 交流伺服系统的特点	第18-19页
· 交流伺服系统数字化控制的优点	第19-20页
· 全数字交流伺服系统的组成	第20-22页
· 论文的主要内容和章节安排	第22-24页
第二章高精度激光直写光刻系统总体设计	第24-33页
· 高精度激光直写光刻系统的总体设计方案	第24-26页
· 松下 MINASA系列交流伺服系统	第26-33页
· 性能特点	第26-29页
· 工作原理	第29-30页
· 驱动信号连接和参数设置	第30-33页
第三章激光直写光刻系统控制电路的硬件设计	第33-65页
· 控制电路功能要求	第33页
· 三维运动控制卡总体设计	第33-34页
· 单元电路模块设计	第34-42页
· PC接口及地址译码模块的设计	第34-36页
· 时钟产生模块	第36-37页
· 方向信号产生模块	第37-38页
· 脉冲信号产生模块	第38-40页
· 保护电路	第40-42页
· ISA总线到PCI总线转换电路设计	第42-65页
· PCI总线概述	第42-43页
· PCI局部总线的特点	第43-45页
· PCI总线的体系结构	第45-46页
· PCI局部总线的信号定义及其命令	第46-49页
· PCI总线的配置空间	第49-50页
· PCI接口芯片的选择	第50-54页
· PCI总线接口设计	第54-55页
· PCI9052的复位和 EEPROM的初始化	第55页
· PCI9052配置寄存器的配置	第55-61页
· 局部总线 ISA接口模式数据传输操作	第61-65页
第四章基于 ISA接口的控制电路和 PCI接口卡软件设计	第65-74页
· 基于 ISA接口的控制电路软件设计	第65-68页
· PCI设备驱动程序和应用程序的开发	第68-74页
· WDM设备驱动程序概述	第68-70页
· WDM设备驱动程序开发工具 WinDriver功能简介	第70页
· 用户模式驱动程序的开发流程	第70-72页
· 应用程序的开发	第72-74页
第五章系统实验调试	第74-79页
· 系统的硬件调试	第74-75页
· 激光直写系统光刻实验	第75-79页
· 感光胶片刻蚀实验	第75-76页
· SU-8光刻胶光刻实验	第76-79页
第六章结论与展望	第79-80页
参考文献	第80-84页
附录 1:运动控制卡实物图	第84页
附录 2:激光直写光刻系统机械装置图	第84-85页
在校期间发表的论文	第85-86页
致谢	第86 页

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