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界面对PZT铁电薄膜性能的影响

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界面对PZT铁电薄膜性能的影响
论文目录
 
摘要第1-5页
Abstract第5-10页
第一章 引言第10-26页
  · 铁电材料简介第10-11页
  · PZT铁电材料的结构第11-12页
  · 薄膜概况第12-14页
    · 薄膜研究的历史第12页
    · 薄膜的形成过程第12-13页
    · 影响薄膜成核和长大的因素第13-14页
  · 界面对PZT铁电薄膜性能的影响及其研究进展第14-17页
    · 界面对PZT铁电薄膜性能的影响第14-15页
    · 界面对PZT铁电薄膜性能影响的研究进展第15-17页
  · PZT铁电薄膜的制备方法第17-19页
    · 溶胶-凝胶第18页
    · 金属有机物化学气相沉积第18-19页
    · 射频磁控溅射第19页
  · 本文研究目的、方法和内容第19-20页
    · 本文研究目的第19页
    · 本文研究方法和内容第19-20页
  参考文献第20-26页
第二章 薄膜的界面第26-35页
  · 界面相第26-29页
  · 界面曲率半径的影响第29-30页
  · 晶体表面能、界面能和黏附能第30-31页
  · 表面能对薄膜稳定性的影响第31-33页
  · 界面能对薄膜成核长大的影响第33-34页
  参考文献第34-35页
第三章 实验方法与测试技术第35-43页
  · 溅射沉积技术第35-37页
    · 直流辉光放电第35-36页
    · 射频辉光放电第36-37页
  · 溅射沉积设备第37-38页
    · 射频磁控溅射仪第37页
    · 基片与靶材第37-38页
  · 测试分析技术第38-42页
    · X射线衍射第38-39页
    · 原子力显微镜第39-40页
    · 铁电性能测试仪第40-42页
  参考文献第42-43页
第四章 LNO底电极和PZT铁电薄膜的制备第43-51页
  · LNO底电极薄膜的制备第43-46页
  · PZT铁电薄膜的制备第46-48页
  · 顶电极的制备第48-49页
  本章小结第49-50页
  参考文献第50-51页
第五章 界面对PZT铁电薄膜性能的影响第51-67页
  · PZT/Si界面对PZT铁电薄膜性能的影响第51-54页
  · LNO底电极/Si基底界面对PZT铁电薄膜性能的影响第54-59页
    · Si基底材料对PZT薄膜性能的影响第55-56页
    · Si基底表面粗糙度对PZT薄膜性能的影响第56-59页
  · PZT/底电极界面对PZT铁电薄膜性能的影响第59-62页
  · 顶电极/PZT界面对PZT铁电薄膜性能的影响第62-64页
  本章小结第64-65页
  参考文献第65-67页
总结第67-69页
攻读硕士学位期间发表论文第69-70页
致谢第70 页

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