界面对PZT铁电薄膜性能的影响
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界面对PZT铁电薄膜性能的影响
论文目录
摘要
第1-5页
Abstract
第5-10页
第一章 引言
第10-26页
· 铁电材料简介
第10-11页
· PZT铁电材料的结构
第11-12页
· 薄膜概况
第12-14页
· 薄膜研究的历史
第12页
· 薄膜的形成过程
第12-13页
· 影响薄膜成核和长大的因素
第13-14页
· 界面对PZT铁电薄膜性能的影响及其研究进展
第14-17页
· 界面对PZT铁电薄膜性能的影响
第14-15页
· 界面对PZT铁电薄膜性能影响的研究进展
第15-17页
· PZT铁电薄膜的制备方法
第17-19页
· 溶胶-凝胶
第18页
· 金属有机物化学气相沉积
第18-19页
· 射频磁控溅射
第19页
· 本文研究目的、方法和内容
第19-20页
· 本文研究目的
第19页
· 本文研究方法和内容
第19-20页
参考文献
第20-26页
第二章 薄膜的界面
第26-35页
· 界面相
第26-29页
· 界面曲率半径的影响
第29-30页
· 晶体表面能、界面能和黏附能
第30-31页
· 表面能对薄膜稳定性的影响
第31-33页
· 界面能对薄膜成核长大的影响
第33-34页
参考文献
第34-35页
第三章 实验方法与测试技术
第35-43页
· 溅射沉积技术
第35-37页
· 直流辉光放电
第35-36页
· 射频辉光放电
第36-37页
· 溅射沉积设备
第37-38页
· 射频磁控溅射仪
第37页
· 基片与靶材
第37-38页
· 测试分析技术
第38-42页
· X射线衍射
第38-39页
· 原子力显微镜
第39-40页
· 铁电性能测试仪
第40-42页
参考文献
第42-43页
第四章 LNO底电极和PZT铁电薄膜的制备
第43-51页
· LNO底电极薄膜的制备
第43-46页
· PZT铁电薄膜的制备
第46-48页
· 顶电极的制备
第48-49页
本章小结
第49-50页
参考文献
第50-51页
第五章 界面对PZT铁电薄膜性能的影响
第51-67页
· PZT/Si界面对PZT铁电薄膜性能的影响
第51-54页
· LNO底电极/Si基底界面对PZT铁电薄膜性能的影响
第54-59页
· Si基底材料对PZT薄膜性能的影响
第55-56页
· Si基底表面粗糙度对PZT薄膜性能的影响
第56-59页
· PZT/底电极界面对PZT铁电薄膜性能的影响
第59-62页
· 顶电极/PZT界面对PZT铁电薄膜性能的影响
第62-64页
本章小结
第64-65页
参考文献
第65-67页
总结
第67-69页
攻读硕士学位期间发表论文
第69-70页
致谢
第70 页
本篇论文共
70
页,
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