微倾斜悬臂梁在振动冲击载荷下的可靠性分析



微倾斜悬臂梁在振动冲击载荷下的可靠性分析

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微倾斜悬臂梁在振动冲击载荷下的可靠性分析

论文目录
摘要	第10-11页
ABSTRACT	第11-13页
第一章绪论	第13-22页
· 研究背景及意义	第13页
· MEMS可靠性研究现状	第13-19页
· MEMS基本特征	第13-15页
· MEMS同IC的差别	第14页
· MEMS同普通机械系统的差别	第14-15页
· MEMS可靠性研究相关领域	第15页
· MEMS常见失效模式和失效机理	第15-19页
· MEMS冲击振动可靠性研究现状	第19-20页
· 论文的研究思路及结构安排	第20-22页
· 论文的研究思路	第20-21页
· 论文的结构安排	第21-22页
第二章微倾斜悬臂梁模型特性分析	第22-31页
· 微倾斜悬臂梁模型	第22-23页
· 微倾斜悬臂梁弯曲刚度分析	第23-24页
· 倾斜悬臂梁静态特性	第24-28页
· 静力分析理论解	第24-25页
· ANSYS静力分析	第25-28页
· 微梁工作状态所受阻尼和微观力	第28-30页
· 阻尼分析	第28-29页
· 微梁所受其微观力	第29-30页
· 本章小结	第30-31页
第三章微悬臂梁振动理论及仿真分析	第31-43页
· 微悬臂梁的自由振动理论	第31-36页
· 微悬臂梁弯曲振动方程	第31-32页
· 固有频率和振型函数	第32-36页
· 微悬臂梁在简谐振动下的响应	第36-38页
· 振动载荷描述	第36页
· 微悬臂梁对于简谐振动的响应	第36-38页
· 微倾斜梁动力学特性仿真	第38-42页
· 微倾斜梁模态分析	第38-40页
· 微倾斜梁谐响应分析	第40-42页
· 本章小结	第42-43页
第四章倾斜悬臂梁在冲击载荷下的失效分析	第43-53页
· 倾斜悬臂梁在冲击下的力学特性理论模型	第43-47页
· 准静态理论	第43页
· 微悬臂梁对于瞬态冲击的响应	第43-47页
· 倾斜梁受冲击载荷的力学特性有限元仿真	第47-50页
· 微倾斜悬臂梁仿真建模	第47-48页
· 有限元仿真结果及讨论	第48-50页
· 倾斜梁受冲击载荷的失效分析	第50-52页
· 断裂失效分析	第50-51页
· 粘附失效分析	第51-52页
· 本章小结	第52-53页
第五章倾斜悬臂梁在冲击载荷下的实验	第53-60页
· 实验的目的和意义	第53页
· 实验样品的制备以及实验设备	第53-56页
· 实验样品的制备	第53-55页
· 实验设备简介	第55-56页
· 实验步骤	第56-57页
· 实验准备	第56-57页
· 冲击测试实验	第57页
· 实验结果及讨论	第57-59页
· 冲击测试结果	第57-58页
· 误差分析	第58-59页
· 本章小结	第59-60页
第六章结论与展望	第60-62页
· 研究结论	第60页
· 研究展望	第60-62页
致谢	第62-63页
参考文献	第63-67页
作者在硕士学习期间发表的论文	第67 页

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