基于AZO薄膜的气体传感器的制备及其性质研究



基于AZO薄膜的气体传感器的制备及其性质研究

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基于AZO薄膜的气体传感器的制备及其性质研究

论文目录
摘要	第1-6页
Abstract	第6-9页
第一章绪论	第9-20页
· 气敏传感器概述	第9-11页
· AZO 的晶体结构	第11-12页
· AZO 气敏薄膜的制备方法	第12-15页
· 溶胶-凝胶（Sol-Gel）	第12页
· 真空蒸发法（Vacuum evaporation）	第12-13页
· 化学气相沉积法（CVD）	第13页
· 喷雾热解法（Spray pyrolysis）	第13-14页
· 溅射法（Sputtering）	第14-15页
· 气敏传感器的要求和特点	第15-16页
· 气敏传感器的国内外研究现状及存在问题	第16-19页
· 气敏传感器的国内外研究现状	第16-18页
· 气敏传感器目前存在的问题	第18-19页
· 本课题的研究意义及主要内容	第19-20页
第二章 AZO 气敏薄膜的实验设计及表征手段	第20-27页
· 实验设计	第20-21页
· AZO 薄膜传感器的制备流程	第21-24页
· AZO 气敏薄膜的测试方法	第24-27页
· AZO 气敏薄膜的晶体结构的表征	第24页
· AZO 气敏薄膜的表面形貌的表征	第24-25页
· AZO 气敏薄膜的气敏性能的表征	第25-27页
第三章 AZO 薄膜的结构表征与气敏特性分析	第27-43页
· 不同溅射功率对 AZO 薄膜特性影响	第27-33页
· AFM 表面形貌的比较	第27-29页
· XRD 晶体结构的比较	第29-30页
· 薄膜气敏特性的比较	第30-33页
· 不同衬底温度对 AZO 薄膜特性的影响	第33-38页
· XRD 晶体结构的比较	第33-34页
· AFM 表面形貌的比较	第34-37页
· 薄膜气敏特性的比较	第37-38页
· 不同工作压强对 AZO 薄膜特性的影响	第38-43页
· 工作压强对 AZO 薄膜生长速率的影响	第38-39页
· AFM 表面形貌的比较	第39-41页
· AZO 薄膜的气敏性能分析	第41-43页
第四章后期处理对 AZO 气敏薄膜的性能影响研究	第43-55页
· 后期快速热退火对 AZO 薄膜特性的影响	第43-47页
· 表面形貌	第43-44页
· 晶体结构	第44-45页
· 气敏性能	第45-47页
· 表面改性对 AZO 薄膜气敏特性的影响	第47-51页
· TiO-AZO 薄膜气敏元件的制备	第47页
· 结果与分析	第47-51页
· AZO 薄膜气敏传感器气敏机理	第51-55页
· AZO 薄膜的气敏机理	第51-53页
· 表面改性作用机理	第53-55页
第五章总结与展望	第55-57页
参考文献	第57-61页
发表论文和科研情况	第61-62页
致谢	第62-63页

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