Ti/TiN多层膜离子束辅助沉积工艺、结构及性能研究



Ti/TiN多层膜离子束辅助沉积工艺、结构及性能研究

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Ti/TiN多层膜离子束辅助沉积工艺、结构及性能研究

论文目录
摘要	第1-6页
Abstract	第6-10页
1 绪论	第10-27页
· 引言	第10页
· 多层膜的性能及其研究现状	第10-15页
· 多层膜的硬度	第11-13页
· 多层膜的摩擦磨损性能	第13-15页
· 多层膜的热稳定性	第15页
· 多层膜的制备技术	第15-26页
· 多弧离子镀	第15-16页
· 磁控溅射	第16-22页
· 等离子体化学气相沉积	第22-23页
· 离子束辅助沉积	第23-26页
· 论文的研究目标及研究内容	第26-27页
2 实验方法	第27-34页
· 试样的准备	第27页
· 镀膜设备	第27-28页
· 实验设计	第28-30页
· TiN 膜的工艺参数优化	第29页
· Ti/TiN 多层膜优化工艺参数设计	第29-30页
· 薄膜性能分析测试方法	第30-34页
· 结合强度测试	第30-31页
· 膜层厚度测试	第31-32页
· 硬度测试	第32页
· 缺陷的定量分析	第32-34页
3 TiN 薄膜工艺参数优化	第34-53页
· 表面形貌	第34-42页
· 宏观评价及其结果分析	第34-36页
· 表面缺陷数量及结果分析	第36-39页
· 表面缺陷面积比例及结果分析	第39-42页
· 膜层厚度测量	第42-44页
· 膜层力学性能测试	第44-52页
· 膜/基结合力及其结果分析	第44-47页
· 膜层硬度及其结果分析	第47-52页
· 小结	第52-53页
4 Ti/TiN 多层膜的工艺参数选择及性能研究	第53-64页
· 脉冲送气对膜层性能的影响	第53-55页
· 脉冲送气对氮气流量选择的影响	第55-56页
· 调制周期对Ti/TiN 多层膜性能的影响	第56-60页
· 调制周期实验参数选择	第56-57页
· 调制周期对 Ti/TiN 多层膜性能的影响	第57-60页
· 调制比对Ti/TiN 多层膜性能的影响	第60-63页
· 调制比实验参数选择	第60-61页
· 调制比对 Ti/TiN 多层膜性能的影响	第61-63页
· 小结	第63-64页
5 结论及建议	第64-65页
致谢	第65-66页
参考文献	第66-71页
附录	第71页

本篇论文共71页，点击这进入下载页面。

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