半导体制造系统中准确快速换模与维护的策略研究



半导体制造系统中准确快速换模与维护的策略研究

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半导体制造系统中准确快速换模与维护的策略研究

论文目录
摘要	第1-6页
ABSTRACT	第6-10页
第1章绪论	第10-21页
· 半导体制造造流程简介	第10-11页
· 设备维护管理发展简介	第11-13页
· 精益生产以及精益思想介绍	第13-16页
· 课题的研宄背景	第16页
· 研宄目的和意义	第16-18页
· 文献综述	第18-20页
· 快速换模(sMED)	第18-19页
· 设备的高精度维护	第19-20页
· 论文结构	第20-21页
第2章半导体制造系统准确快速换模与维护的研究方法	第21-30页
· sMED研究方法	第21-25页
· 快速换模的作用	第21-22页
· 快速换模的实施方法	第22-25页
· 高精度维护研宄方法	第25-28页
· 价值流图析(vsM)	第25-27页
· 标准方法可视化	第27页
· 取消、合并、重排、简化(EcRs)原则	第27-28页
· 本章小结	第28-30页
第3章 A公司实施准确快速换模和维护的分析步骤	第30-43页
· 分级测试工段工艺流程介绍	第30-31页
· 定义	第31-34页
· 定义关键质量特性(cTO)	第31-32页
· 定义项目范围和目标	第32-33页
· 项目小组的构建	第33-34页
· 测量	第34-38页
· 需要测量的数据	第34页
· 测量方法	第34-36页
· 测量结果	第36-38页
· 分析	第38-42页
· 鱼骨图	第38-39页
· 失效模式分析	第39页
· 现场观察法(包含价值流图析)	第39-42页
· 本章小结	第42-43页
第4章 A公司实施准确快速换模的改善与控制步骤	第43-57页
· 改善	第43-50页
· 换模流程的取消、合并与重排	第43-47页
· 维护流程的取消、合并、重排、简化	第47页
· 对人员的培训与激励	第47-49页
· 物料和工具准备	第49-50页
· 控制	第50-54页
· 制定换模、维护质量的衡量标准	第50-51页
· 指定与实施标准作业流程	第51-54页
· 持续改善	第54页
· 改善效果	第54-55页
· 本章小结	第55-57页
第5章结论与展望	第57-59页
· 结论	第57-58页
· 实施条件及其局限性分析	第58页
· 探讨进一步的研宄方向	第58-59页
参考文献	第59-61页
致谢	第61-62页
攻读硕士学位期间已发表的论文	第62 页

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