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金属有机物化学气相沉积反应腔建模与仿真
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金属有机物化学气相沉积反应腔建模与仿真
论文目录
 
摘要第1-5 页
Abstract第5-8 页
1 绪论第8-21 页
　　· MOCVD 概述第8-11 页
　　· MOCVD 反应腔第11-15 页
　　· MOCVD 国内外研究现状第15-18 页
　　· 本文研究的目的和意义第18-19 页
　　· 本文研究的主要内容和方法第19-20 页
　　· 本章小结第20-21 页
2 MOCVD 的基础理论及数学模型的建立第21-33 页
　　· 流体力学与传热学的基本理论第21-27 页
　　· MOCVD 反应腔内的沉积过程第27 页
　　· MOCVD 反应腔体内的化学反应模型第27-29 页
　　· 多物理场耦合模型第29-30 页
　　· 耦合模型的试验验证第30-32 页
　　· 本章小结第32-33 页
3 MOCVD 模拟中的数值计算方法第33-43 页
　　· 模型中的数值计算思想和特点第33-36 页
　　· 模型的网格生成第36-37 页
　　· 模型数值求解第37-41 页
　　· 数值计算中的收敛控制第41-42 页
　　· 本章小结第42-43 页
4 缓冲分布式反应腔体的数值模拟第43-61 页
　　· 垂直喷淋流速均匀性的设计第43-47 页
　　· 与反应腔体有关的冷却系统设计第47-50 页
　　· 减少最高生长率与中心的距离第50-54 页
　　· 调节生长工艺参数第54-58 页
　　· 本章小结第58-61 页
5 总结及展望第61-63 页
　　· 总结第61 页
　　· 今后工作的建议及展望第61-63 页
致谢第63-64 页
参考文献第64-67 页
攻读硕士学位期间发表的学术论文第67 页

本篇论文共67页，点击这进入下载页面。
 
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