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BLT/PZT/BLT铁电薄膜的溶胶—凝胶制备及性能研究
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BLT/PZT/BLT铁电薄膜的溶胶—凝胶制备及性能研究
论文目录
 
摘要第1-5页
Abstract第5-9页
1 绪论第9-20页
　　· 铁电体及其基本特征第9-11页
　　· 铁电薄膜材料及发展概况第11-13页
　　· 铁电存储器的研究与进展第13-19页
　　· 课题来源与研究内容第19-20页
2 BLT/PZT/BLT 薄膜的制备和测试方法第20-32页
　　· 铁电薄膜材料的选择第20-21页
　　· 铁电薄膜的制备方法第21-24页
　　· BLT/PZT/BLT 薄膜的制备流程第24-29页
　　· BLT/PZT/BLT 薄膜的结构和性能测试第29-31页
　　· 本章小结第31-32页
3 BLT/PZT/BLT 铁电薄膜的结构和性能表征第32-42页
　　· 引言第32-33页
　　· BLT 薄膜的制备与表征第33-35页
　　· BLT/PZT 薄膜的制备与表征第35-36页
　　· BLT/PZT/BLT 薄膜的制备与表征第36-41页
　　· 本章小结第41-42页
4 BLT 层对 BLT/PZT/BLT 薄膜结构和性能的影响第42-51页
　　· 引言第42页
　　· BLT 层对薄膜取向和形貌的影响第42-44页
　　· BLT/PZT/BLT 薄膜的疲劳特性分析第44-48页
　　· BLT/PZT/BLT 薄膜的工艺和结构优化第48-50页
　　· 本章小结第50-51页
5 全文总结第51-53页
致谢第53-54页
参考文献第54-58 页

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