基于纳机电系统的微小质量检测方法研究



基于纳机电系统的微小质量检测方法研究

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基于纳机电系统的微小质量检测方法研究

论文目录
摘要	第1-6页
Abstract	第6-9页
第一章绪论	第9-21页
1.1 引言	第9页
1.2 纳机电系统(NEMS)概述	第9-12页
1.2.1 NEMS的概念及器件特性	第9-11页
1.2.2 NEMS器件的应用领域及前景	第11-12页
1.3 课题研究背景	第12-19页
1.3.1 微小质量检测国内外研究现状	第12-13页
1.3.2 纳米梁/线谐振器的微小质量检测方法	第13-19页
1.4 本论文的主要内容	第19-21页
第二章 NEMS谐振器检测微小质量的相关理论	第21-27页
2.1 NEMS谐振器检测微小质量的基本原理	第21-25页
2.1.1 梁谐振的基本原理	第21-23页
2.1.2 微小质量检测的基本原理	第23-25页
2.2 NEMS谐振器检测微小质量的困难点	第25-26页
2.3 本章小结	第26-27页
第三章 NEMS谐振器的驱动方法及结构设计	第27-39页
3.1 NEMS谐振器的驱动方法	第27-31页
3.1.1 NEMS谐振器的主要驱动和检测方法	第27-29页
3.1.2 NEMS谐振器的静电驱动原理	第29-31页
3.2 NEMS梁结构的设计	第31-33页
3.3 NEMS梁的谐振频率仿真	第33-38页
3.4 本章小结	第38-39页
第四章 NEMS谐振器的压阻设计及制作工艺	第39-57页
4.1 压阻环的设计及仿真	第39-51页
4.1.1 压阻理论基础	第39-44页
4.1.2 压阻环的有限元仿真	第44-51页
4.2 硅纳米梁谐振器的制作工艺	第51-54页
4.3 本章小结	第54-57页
第五章预检测电路的设计及测试	第57-71页
5.1 预检测电路设计及仿真	第57-67页
5.1.1 差频检测电路原理	第57-61页
5.1.2 电路仿真结果及讨论	第61-66页
5.1.3 PCB基板的设计	第66-67页
5.2 预检测电路的测试结果及讨论	第67-69页
5.3 本章小结	第69-71页
第六章工作总结与展望	第71-73页
6.1 工作总结	第71页
6.2 前景展望	第71-73页
致谢	第73-75页
参考文献	第75-81页
攻读硕士期间发表论文和申请专利	第81页

本篇论文共81页，点击这进入下载页面。

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