膜基系统纳米压痕实验数据的分析方法研究



膜基系统纳米压痕实验数据的分析方法研究

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膜基系统纳米压痕实验数据的分析方法研究

论文目录
摘要	第1-6页
Abstract	第6-9页
第1章前言	第9-38页
· 纳米压痕技术的广泛应用	第9-10页
· 纳米压痕技术的研究现状概述	第10-31页
· 纳米压痕技术的理论基础	第10-18页
· 分析压痕测试数据所需了解的引入误差的因素	第18-31页
· 纳米压痕技术在薄膜中的应用	第31-35页
· 薄膜硬度分离模型	第31-33页
· 薄膜弹性模量分离模型	第33-35页
· 主成份分析法	第35-36页
· 纳米压痕技术存在的问题	第36页
· 研究内容与科学问题	第36-38页
第2章实验部分	第38-40页
· 实验仪器	第38页
· 中频磁控溅射镀膜机	第38页
· 纳米压痕仪	第38页
· 白光干涉仪	第38页
· 样品制备	第38-39页
· 退火玻璃的制备	第38页
· 薄膜样品的制备	第38-39页
· 压痕实验部分	第39-40页
· 退火玻璃的纳米压痕实验	第39页
· 块体材料的实验	第39页
· 钛膜的实验	第39-40页
第3章纳米压痕仪卸载曲线在薄膜/基体系统中的应用	第40-49页
· 退火玻璃的纳米压痕实验	第40-41页
· 块体材料的分析结果	第41-42页
· 钛膜的分析结果	第42-44页
· 提高纳米压痕膜厚测试效率的新方法	第44-48页
· 提高纳米压痕膜厚测试效率的新方法	第44-46页
· 对于快速测试方法的一种标定方法	第46-48页
· 本章小结	第48-49页
第4章纳米压痕仪加载曲线在薄膜/基体系统中的应用	第49-63页
· 连续刚度法分析膜基系统物理性质	第49-56页
· 连续刚度曲线的描述	第49-52页
· 基体性质	第52-53页
· 薄膜性质	第53-56页
· 图像分析法测试膜厚	第56-61页
· 纳米压痕图像分析法测试膜厚的方法	第56-60页
· 纳米压痕图像分析法的半经验证明	第60-61页
· 迭代最小二乘法	第61-62页
· 本章小结	第62-63页
第5章结论	第63-64页
致谢	第64-65页
参考文献	第65-70页
个人简历、在学期间发表的学术论文与研究成果	第70-71页

本篇论文共71页，点击这进入下载页面。

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