金属氧化物平板气体传感器的制造工艺研究

金属氧化物平板气体传感器的制造工艺研究

论文目录
摘要	第1-5页
Abstract	第5-9页
1 绪论	第9-23页
· 气体传感器结构的发展	第9-17页
· 金属氧化物平板气体传感器制造工艺的现状	第17-21页
· 金属氧化物平板气体传感器阵列的制作工艺	第21-23页
2 丝网印刷工艺研究	第23-32页
· 丝网印刷效果对传感器性能的影响	第23-24页
· 实验方案	第24页
· 结果与分析	第24-30页
· 本章小结	第30-32页
3 金属氧化物气体传感器电极结构优化	第32-48页
· 引言	第32-33页
· 实验方案	第33-35页
· 结果与分析	第35-46页
· 本章小结	第46-48页
4 微滴注掺杂工艺制作4 阵列传感器及其对白酒选择性的评价	第48-59页
· 引言	第48页
· 微滴注掺杂工艺	第48-50页
· 结果与分析	第50-58页
· 本章小结	第58-59页
5 结论与展望	第59-61页
· 结论	第59-60页
· 展望	第60-61页
致谢	第61-62页
参考文献	第62-67页
附录攻读硕士学位期间发表论文	第67 页

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