适用于SOC的微气压传感器自动测试的研究



适用于SOC的微气压传感器自动测试的研究

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适用于SOC的微气压传感器自动测试的研究

论文目录
摘要	第1-5页
Abstract	第5-9页
1 绪论	第9-16页
1．1 选题依据	第9-10页
1．1．1 课题的提出	第9-10页
1．1．2 课题来源	第10页
1．2 国内外研究概况	第10-15页
1．2．1 微气压传感器研究概况	第10-12页
1．2．2 自动化测试系统与仪器控制技术	第12-14页
1．2．3 真空测量的特点与微气压控制的研究	第14-15页
1．3 本文研究的内容	第15-16页
2 适用于SOC的微气压传感器及其对测试的要求	第16-25页
2．1 适用于SOC的微传感器	第16-17页
2．2 微加热板式微气压传感器的工作原理及其基本参数	第17-19页
2．2．1 微加热板式气压传感器的工作原理	第17-19页
2．2．2 微加热板式微气压传感器基本特性与参数	第19页
2．3 微加热板式微气压传感器的设计与制造	第19-23页
2．4 微气压传感器测试条件及测试系统的基本要求	第23-25页
2．4．1 微气压传感器测试条件	第23-24页
2．4．2 自动测试系统的基本要求	第24-25页
3 自动测试系统硬件设计	第25-42页
3．1 自动测试系统框架设计	第25-26页
3．2 真空获得装置的系统设计	第26-30页
3．2．1 真空室设计	第26-27页
3．2．2 基准真空计的选择	第27-28页
3．2．3 真空泵机组的选择	第28-29页
3．2．4 气动阀组及气体管路	第29-30页
3．3 仪器系统组建	第30-36页
3．3．1 程控加热电源	第30页
3．3．2 电动调节阀	第30-31页
3．3．3 质量流量控制器	第31-34页
3．3．4 仪器系统的连接	第34-36页
3．4 测试电路设计	第36-42页
4 自动测试系统软件设计	第42-73页
4．1 测试系统的软件设计框图	第42-45页
4．2 数据的采集与处理	第45-56页
4．2．1 多媒体定时器的应用	第45-47页
4．2．2 数据采集模块程序设计	第47-49页
4．2．3 数据存储与曲线显示	第49-51页
4．2．4 数据的后续处理	第51-56页
4．3 接口仪器控制软件设计	第56-63页
4．3．1 串口通讯	第56-58页
4．3．2 程控电源软件设计	第58-59页
4．3．3 模拟控制量输出程序设计	第59-62页
4．3．4 测试电路程序设计	第62-63页
4．4 微气压模糊控制算法设计	第63-73页
4．4．1 微气压控制系统方案	第63-66页
4．4．2 模糊控制	第66-73页
5 自动测试系统气压控制及传感器的实验研究	第73-79页
5．1 自动测试系统微气压模糊控制实验	第73-75页
5．2 传感器测试实验结果与分析	第75-79页
5．2．1 微加热板结构传感器的实验测试与分析	第75-77页
5．2．2 微加热板式气压传感器的初步测试	第77-79页
6 结论与展望	第79-81页
参考文献	第81-84页
附录A 测试系统实物图	第84页
附录B 测试电路实物图	第84-85页
附录C 其它实物图	第85-86页
攻读硕士学位期间发表学术论文情况	第86-87页
致谢	第87-88页
大连理工大学学位论文版权使用授权书	第88 页

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