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双轴织构Ni-W基带上反应溅射沉积氧化物种子层薄膜
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双轴织构Ni-W基带上反应溅射沉积氧化物种子层薄膜
论文目录
 
摘 要第1-6 页
ABSTRACT第6-10 页
第一章 概述第10-22 页
　　· 高温超导材料的应用第10-11 页
　　· 高温超导带材的发展第11-15 页
　　　　· 实用化高温超导带材的要求第11-12 页
　　　　· 第一代铋系高温超导带材第12-13 页
　　　　· 第二代钇系高温超导带材第13-15 页
　　· 第二代钇系超导带材制备方法第15-19 页
　　　　· 金属基带的选择与制备第15-17 页
　　　　　　· 金属基带的选择第15-16 页
　　　　　　· 金属基带的制备方法第16-17 页
　　　　· 过渡层材料的选择与制备第17-19 页
　　　　　　· 过渡层材料的选择第17-18 页
　　　　　　· 过渡层材料的制备方法第18-19 页
　　　　· 超导层的制备第19 页
　　· 种子层研究现状第19-21 页
　　· 论文的选题依据和研究目标第21-22 页
第二章 实验方法与原理第22-28 页
　　· 实验原理与装置第22-24 页
　　　　· 二级溅射原理第22-23 页
　　　　· 实验采用的直流溅射装置第23-24 页
　　　　· 实验采用的基片第24 页
　　　　· 实验采用的气体第24 页
　　· 薄膜的分析表征方法第24-28 页
　　　　· X 射线衍射原理第25-26 页
　　　　· AFM 原理第26-28 页
第三章 氧化钇种子层研究第28-34 页
　　· 说明第28 页
　　· 工艺因素对Y_2O_3 薄膜的影响第28-33 页
　　· 小结第33-34 页
第四章 氧化铈种子层研究第34-50 页
　　· 说明第34 页
　　· 等温退火法沉积CEO_2中工艺因素对薄膜的影响第34-38 页
　　· 两步生长法第38-45 页
　　　　· 正交实验第38-45 页
　　　　　　· 正交实验设计第38-40 页
　　　　　　· 极差分析第40-42 页
　　　　　　· 方差分析第42-44 页
　　　　　　· 优化条件试验第44-45 页
　　· 两种CEO_2 沉积方法对比第45-49 页
　　　　· 优化工艺条件对比第45 页
　　　　· 优化结果对比第45-49 页
　　· 小结第49-50 页
第五章 YBCO/CEO_2/NI-W 试制第50-53 页
结论第53-54 页
致谢第54-59 页
作者读硕期间取得的成果第59 页

本篇论文共59页，点击这进入下载页面。
 
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