硅片传输机器人设计及轨迹规划



硅片传输机器人设计及轨迹规划

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硅片传输机器人设计及轨迹规划

论文目录
摘要	第1-5 页
Abstract	第5-9 页
1 绪论	第9-19 页
· 论文选题背景及来源	第9 页
· 硅片自动传输系统概述	第9-11 页
· 硅片自动传输系统的分类	第9-11 页
· 硅片自动传输系统的发展	第11 页
· 硅片传输机器人概述	第11-18 页
· 国内外硅片传输机器人的发展	第12-13 页
· 国内外硅片传输机器人研究现状	第13-18 页
· 论文主要研究内容	第18 页
· 本章小结	第18-19 页
2 硅片传输机器人总体方案设计	第19-23 页
· 机器人构型	第19-20 页
· 硅片传输机器人构型	第20-22 页
· SCARA型硅片传输机器人	第21-22 页
· R-θ型硅片传输机器人	第22 页
· 硅片传输机器人总体方案确定	第22 页
· 本章小结	第22-23 页
3 硅片传输机器人手臂设计	第23-39 页
· 硅片传输机器人手臂方案确定	第23-26 页
· 硅片传输机器人手臂机构选择	第23-24 页
· 硅片传输机器人手臂模型建立	第24-26 页
· 硅片传输机器人手臂结构设计	第26-31 页
· 硅片传输机器人手臂结构	第26-27 页
· 硅片传输机器人手臂设计特点	第27-31 页
· 硅片传输机器人末端执行器设计	第31-33 页
· 硅片传输机器人手臂设计原则	第33-34 页
· 硅片传输机器人手臂分析	第34-38 页
· 硅片传输机器人手臂运动学分析	第34-35 页
· 硅片传输机器人手臂动力学分析	第35-38 页
· 本章小结	第38-39 页
4 硅片传输机器人本体设计	第39-60 页
· 单臂硅片传输机器人本体设计	第40-47 页
· 单臂硅片传输机器人总体结构	第40-44 页
· 单臂硅片传输机器人手臂传动机构设计	第44 页
· 单臂硅片传输机器人旋转机构设计	第44 页
· 单臂硅片传输机器人升降机构设计	第44-47 页
· 双臂硅片传输机器人本体设计	第47-51 页
· 双臂硅片传输机器人总体结构	第47-49 页
· 双臂硅片传输机器人旋转机构设计	第49-50 页
· 双臂硅片传输机器人升降机构设计	第50-51 页
· 硅片传输机器人校核计算	第51-59 页
· 硅片传输机器人电机匹配校核计算	第51-57 页
· 硅片传输机器人滚珠螺杆校核计算	第57-59 页
· 本章小结	第59-60 页
5 硅片传输机器人手臂轨迹规划	第60-66 页
· 机器人轨迹规划	第60 页
· 机器人时间最优轨迹规划	第60-61 页
· 硅片传输机器人时间最优轨迹规划	第61-65 页
· 本章小结	第65-66 页
结论	第66-68 页
参考文献	第68-71 页
附录A 单臂硅片传输机器人样机	第71-72 页
附录B 发明专利申请公布说明书	第72-73 页
攻读硕士学位期间发表学术论文情况	第73-74 页
致谢	第74-75 页

本篇论文共75页，点击这进入下载页面。

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