相位光栅对准技术研究—硕士毕业论文下载



相位光栅对准技术研究

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相位光栅对准技术研究

论文目录
摘要	第1-5 页
ABSTRACT	第5-6 页
目录	第6-7 页
第一章绪论	第7-10 页
§· 引言	第7 页
§· 光刻对准技术研究进程	第7-9 页
§· 本论文研究的主要内容和意义	第9-10 页
第二章相位光栅对准技术原理与特性分析	第10-18 页
§· 激光外差干涉对准	第10-12 页
§· 纳米全息对准	第12-13 页
§· 相位光栅TTL对准	第13-14 页
§· ATHENA离轴对准	第14-15 页
§· SBA对准	第15 页
§· SMASH对准	第15-18 页
第三章相位光栅对准系统	第18-26 页
§· 相位光栅对准技术原理	第18 页
§· 相位光栅对准系统结构	第18-20 页
§· 标记的对准信号	第20-23 页
§· 离焦和倾斜的影响	第23-25 页
§· 光学系统像差的影响	第25-26 页
第四章相位光栅对准标记衍射光强参数分析	第26-37 页
§· 一级衍射光强分布	第26 页
§· 槽深的影响	第26-28 页
§· 占空比的影响	第28-29 页
§· 反射率的影响	第29-37 页
第五章非对称对准标记的衍射效率和对准误差	第37-52 页
§· 非对称对准标记计算模型	第37-38 页
§· 矩形对准标记	第38-40 页
§· CMP型对准标记	第40-48 页
§· 金属淀积型标记	第48-50 页
§· 非对称变形标记的对准信号	第50-52 页
结论	第52-53 页
致谢	第53-54 页
参考文献	第54-55 页

本篇论文共55页，点击这进入下载页面。

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