基于BCB键合技术的MEMS电场传感器的设计与制造



基于BCB键合技术的MEMS电场传感器的设计与制造

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基于BCB键合技术的MEMS电场传感器的设计与制造

论文目录
中文摘要	第1-4页
ABSTRACT	第4-8页
第一章引言	第8-23页
· 电场传感器概述	第8-10页
· 机械式电场传感器	第8页
· 光学式电场传感器	第8-9页
· 机械式电场传感器及光学式电场传感器的缺点	第9页
· 基于 MEMS 技术的新型电场传感器的优势	第9-10页
· 基于 MEMS 技术的新型电场传感器	第10-21页
· 感应电流产生原理	第10页
· 常用的激振方式及其原理	第10-12页
· 常用的屏蔽电极振动方式及发展现状	第12-19页
· 现有 MEMS 电场传感器小结及方案初步选定	第19-21页
· 本论文的主要研究内容	第21-23页
· 电场传感器的结构设计	第22页
· 工艺流程设计	第22页
· 电场传感器制造	第22-23页
第二章电场传感器的结构设计	第23-50页
· 感应部分设计	第23-29页
· 驱动部分设计	第29-46页
· 驱动梁长度对驱动位移影响	第33-34页
· 驱动梁宽度对驱动位移影响	第34-35页
· 驱动梁弯曲角度对驱动位移影响	第35-36页
· 杠杆结构对驱动位移影响	第36-43页
· 驱动部分设计总结	第43-46页
· 传感器整体结构	第46-49页
· 传感器设计总结	第49-50页
第三章工艺流程设计	第50-63页
· 双层感应电极工艺	第50-51页
· 屏蔽电极与感应电极隔离	第51页
· 屏蔽电极悬空结构释放	第51-52页
· 整体工艺流程设计	第52-55页
· 真空封装设计	第55-62页
· 信号的引入与引出	第55-56页
· 各向同性刻蚀释放悬空结构	第56-57页
· 金属微凸点-BCB 混合键合	第57-58页
· 真空封装整体流程设计	第58-62页
· 工艺流程设计小结	第62-63页
第四章工艺制造	第63-95页
· 淀积 SiO2绝缘层	第63-65页
· 制作第一层感应电极	第65-67页
· 淀积两层电极之间隔离层	第67页
· 双面光刻二氧化硅层制作对准标记	第67-68页
· 制作第二层电极	第68-70页
· 旋涂 BCB 层	第70-71页
· 部分固化 BCB 刻蚀	第71-85页
· SF6比例对于刻蚀速度的影响	第74-75页
· SF6比例对刻蚀各向异性的影响	第75-76页
· 刻蚀腔压对刻蚀速度的影响	第76-77页
· 刻蚀腔压对刻蚀各向异性的影响	第77-79页
· RF 功率对刻蚀速率的影响	第79-80页
· RF 功率对于刻蚀各向异性的影响	第80-82页
· 交联程度和负载效应对于刻蚀效果的影响	第82-84页
· 正式片 BCB 预刻蚀	第84-85页
· BCB 键合	第85-86页
· CMP 减薄	第86-91页
· 酸法减薄	第91-92页
· 金属层制作	第92-93页
· 悬空结构释放	第93-94页
· 工艺制造总结	第94-95页
第五章结论和展望	第95-97页
· 本论文的主要成果	第95-96页
· 本论文的展望	第96-97页
参考文献	第97-101页
致谢	第101-103页
个人简历、在学期间发表的学术论文与研究成果	第103页

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