椭偏仪对纳米薄膜光学和介电性能的研究



椭偏仪对纳米薄膜光学和介电性能的研究

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椭偏仪对纳米薄膜光学和介电性能的研究

论文目录
中文摘要	第1-5页
Abstract	第5-9页
第一章偏振光与椭偏仪介绍	第9-27页
· 光波的基本性质	第9-10页
· 光波与电磁波	第9页
· 反射定律、折射定律和菲涅耳公式	第9-10页
· 金属对光的反射和折射	第10-12页
· 光的偏振性与偏振态	第12-14页
· 椭圆偏振光谱仪简介	第14-24页
· 椭圆偏振光谱仪的理论基础	第14-17页
· 色散与K-K关系	第17-19页
· 光学常数与介电常数	第19-21页
· 模型的选择与均方根误差(MSE)	第21-24页
· 椭圆偏振光谱仪的特点	第24-25页
· 椭圆偏振光谱仪的应用	第25-26页
· 本章小结	第26-27页
第二章溅射法制备α-Co薄膜及其特性研究	第27-38页
· 引言	第27页
· Co薄膜的制备	第27-28页
· 实验材料与仪器	第27页
· 薄膜的制备	第27-28页
· XRD结构分析	第28-29页
· 椭偏仪测量与拟合	第29-36页
· Co30、Co50样品当做块状材料处理	第29页
· Co10、Co20样品,单个样品同时拟合膜厚和光学常数	第29-30页
· Co10、Co20样品采用多样品法	第30-31页
· Co10、Co20样品采用振荡模型	第31-33页
· Co膜的光学常数及复介电函数	第33-36页
· SEM断面分析	第36-37页
· 本章小结	第37-38页
第三章纳米TiO_2薄膜的制备与性能的研究	第38-46页
· 引言	第38页
· TiO_2薄膜的制备	第38页
· XRD结构分析	第38-39页
· 椭偏仪测量与拟合	第39-44页
· TiO_2薄膜采用柯西指数模型	第39-42页
· TiO_2薄膜的光学常数和复介电函数	第42-44页
· SEM断面分析	第44页
· 本章小结	第44-46页
第四章溅射法制备ZnO薄膜及其特性研究	第46-53页
· 引言	第46页
· ZnO薄膜的制备	第46页
· XRD结构分析	第46-47页
· 椭圆偏振光谱测量与拟合	第47-51页
· ZnO薄膜采用柯西指数模型	第47-48页
· ZnO薄膜的光学常数及复介电函数	第48-51页
· SEM断面分析	第51-52页
· 本章小结	第52-53页
第五章结论及展望	第53-55页
硕士期间发表的论文	第55-56页
参考文献	第56-58页
致谢	第58页

本篇论文共58页，点击这进入下载页面。

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