基于UV-LIGA和EDM的三维微型腔制作工艺研究
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基于UV-LIGA和EDM的三维微型腔制作工艺研究
论文目录
摘要
第1-6 页
Abstract
第6-10 页
1 绪论
第10-19 页
· 课题研究的背景
第10 页
· 微型腔制作中UV-LIGA工艺的研究现状
第10-13 页
· 微型腔制作中电火花加工技术的研究现状
第13-17 页
· 本论文的主要研究内容
第17-19 页
2 二维微型腔的制作工艺研究
第19-34 页
· SU-8胶光刻工艺研究
第19-24 页
· SU-8胶光刻工艺基础
第19-20 页
· 金属基板SU-8胶光刻工艺实验研究
第20-24 页
· 微电铸镍工艺研究
第24-32 页
· 微电铸镍工艺基础
第24-25 页
· 微电铸镍工艺实验研究
第25-32 页
· 二维微型腔的测量
第32-33 页
· 形状及尺寸测量
第32 页
· 侧壁表面粗糙度的测量
第32-33 页
· 本章小结
第33-34 页
3 电火花加工理论基础
第34-45 页
· 电火花加工原理
第34-40 页
· 放电加工材料去除模型
第34-39 页
· 电火花加工的放电状态
第39-40 页
· 电火花加工中的电极损耗
第40-43 页
· 极性效应对电极损耗的影响
第40-42 页
· 电极材料对电极损耗的影响
第42-43 页
· 脉冲参数对电极损耗的影响
第43 页
· 工作液对电极损耗的影响
第43 页
· 微小面积电火花加工特征分析
第43-44 页
· 本章小结
第44-45 页
4 三维微型腔的电火花成形加工实验研究
第45-58 页
· 侧壁倾斜结构微型腔制作的实验研究
第45-55 页
· 电火花成形加工方法
第45-47 页
· 工具电极的制作
第47-49 页
· 定位方案设计
第49-52 页
· 电火花重复修形
第52-55 页
· 圆弧结构微型腔的电火花成形加工实验探索
第55-57 页
· 工具电极的设计与制作
第55-56 页
· 圆弧结构微型腔的加工实验
第56-57 页
· 本章小结
第57-58 页
5 影响电火花加工表面粗糙度的因素分析及实验研究
第58-68 页
· 影响表面粗糙度的脉冲参数
第58-60 页
· 峰值电流和脉冲宽度
第58-59 页
· 极间电容的影响
第59 页
· 开路电压的影响
第59-60 页
· 影响表面粗糙度的工艺因素
第60-66 页
· 材料物理特性
第60-61 页
· 加工极性
第61-63 页
· 小间隙条件下的加工稳定性
第63-64 页
· 加工前工具电极的表面粗糙度
第64-66 页
· 倾斜侧壁表面粗糙度的测量
第66-67 页
· 本章小结
第67-68 页
结论
第68-70 页
参考文献
第70-73 页
攻读硕士学位期间发表学术论文情况
第73-74 页
致谢
第74-75 页
本篇论文共
75
页,
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