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基于UV-LIGA和EDM的三维微型腔制作工艺研究

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基于UV-LIGA和EDM的三维微型腔制作工艺研究
论文目录
 
摘要第1-6 页
Abstract第6-10 页
1 绪论第10-19 页
  · 课题研究的背景第10 页
  · 微型腔制作中UV-LIGA工艺的研究现状第10-13 页
  · 微型腔制作中电火花加工技术的研究现状第13-17 页
  · 本论文的主要研究内容第17-19 页
2 二维微型腔的制作工艺研究第19-34 页
  · SU-8胶光刻工艺研究第19-24 页
    · SU-8胶光刻工艺基础第19-20 页
    · 金属基板SU-8胶光刻工艺实验研究第20-24 页
  · 微电铸镍工艺研究第24-32 页
    · 微电铸镍工艺基础第24-25 页
    · 微电铸镍工艺实验研究第25-32 页
  · 二维微型腔的测量第32-33 页
    · 形状及尺寸测量第32 页
    · 侧壁表面粗糙度的测量第32-33 页
  · 本章小结第33-34 页
3 电火花加工理论基础第34-45 页
  · 电火花加工原理第34-40 页
    · 放电加工材料去除模型第34-39 页
    · 电火花加工的放电状态第39-40 页
  · 电火花加工中的电极损耗第40-43 页
    · 极性效应对电极损耗的影响第40-42 页
    · 电极材料对电极损耗的影响第42-43 页
    · 脉冲参数对电极损耗的影响第43 页
    · 工作液对电极损耗的影响第43 页
  · 微小面积电火花加工特征分析第43-44 页
  · 本章小结第44-45 页
4 三维微型腔的电火花成形加工实验研究第45-58 页
  · 侧壁倾斜结构微型腔制作的实验研究第45-55 页
    · 电火花成形加工方法第45-47 页
    · 工具电极的制作第47-49 页
    · 定位方案设计第49-52 页
    · 电火花重复修形第52-55 页
  · 圆弧结构微型腔的电火花成形加工实验探索第55-57 页
    · 工具电极的设计与制作第55-56 页
    · 圆弧结构微型腔的加工实验第56-57 页
  · 本章小结第57-58 页
5 影响电火花加工表面粗糙度的因素分析及实验研究第58-68 页
  · 影响表面粗糙度的脉冲参数第58-60 页
    · 峰值电流和脉冲宽度第58-59 页
    · 极间电容的影响第59 页
    · 开路电压的影响第59-60 页
  · 影响表面粗糙度的工艺因素第60-66 页
    · 材料物理特性第60-61 页
    · 加工极性第61-63 页
    · 小间隙条件下的加工稳定性第63-64 页
    · 加工前工具电极的表面粗糙度第64-66 页
  · 倾斜侧壁表面粗糙度的测量第66-67 页
  · 本章小结第67-68 页
结论第68-70 页
参考文献第70-73 页
攻读硕士学位期间发表学术论文情况第73-74 页
致谢第74-75 页

本篇论文共75页,点击这进入下载页面
 
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