基于金硅腐蚀自停止技术的亚微米梁制作研究



基于金硅腐蚀自停止技术的亚微米梁制作研究

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基于金硅腐蚀自停止技术的亚微米梁制作研究

论文目录
摘要	第1-5页
ABSTRACT	第5-8页
第1章绪论	第8-18页
· 微机电系统与纳机电系统	第8-10页
· 微机电系统	第8页
· 纳机电系统	第8-9页
· 纳米梁结构加工	第9-10页
· 硅在碱性溶液中的腐蚀	第10-12页
· 腐蚀自停止技术	第12-17页
· 各向异性腐蚀产生的自停止	第13页
· 浓硼自停止	第13页
· 电化学自停止	第13-16页
· 无电极电化学自停止	第16-17页
· 本论文主要内容	第17-18页
第2章硅在TMAH溶液中的原电池钝化	第18-30页
· 硅电极的极化曲线	第18-22页
· 金电极极化曲线	第22-24页
· 硅的原电池钝化	第24-28页
· 金硅原电池结构实验	第28-30页
第3章利用金硅自停止在(111)硅片上制作亚微米梁	第30-43页
· 亚微米梁制作原理	第30-34页
· (111)硅片的腐蚀特性	第30-31页
· (111)硅片亚微米梁的腐蚀释放	第31-33页
· 腐蚀槽设计	第33-34页
· 亚微米梁结构制作工艺流程	第34-38页
· 工艺要点说明	第34-36页
· 工艺流程详细步骤	第36-38页
· 亚微米梁释放结果	第38-43页
第4章利用金硅自停止在(100)硅片上制作亚微米梁	第43-53页
· 亚微米梁制作原理	第43-45页
· 亚微米梁结构设计	第45-46页
· 亚微米梁结构制作工艺流程	第46-50页
· 工艺要点说明	第46-47页
· 工艺流程详细步骤	第47-50页
· 亚微米梁释放结果	第50-53页
第5章总结与展望	第53-55页
· 本论文工作总结	第53页
· 工作展望	第53-55页
参考文献	第55-58页
致谢	第58-59页
作者简介	第59页
硕士期间发表论文	第59-60 页

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